MAU X 15010-L-N    MAU X 15015-L-N    MAUX 15020-L-N    MAU X 20020-L-N    MAU XY 15010-L-N   MAU XY 15015-L-N    MAU XY 15020-L-N    MAU XY 20020-L-N        MAU Z 4085-L-N

LM Guide Stage MAU X 20020-L-N

	모터라이징 스테이지 MAU X 20020-L-N
사양 설명 스테이지면 크기 200X200 이동거리 200 이동방식 Ball Screw Φ15 Lead5, LM Guide 분해능 0.001/Pulse(Full Step) 최고 이송 속도 50mm/sec[10kHz] 정도 30um 단일-반복정밀도 ±3um 다중-반복정밀도 ±5um 상하흔들림정도 80" 좌우흔들림정도 60" 평행도(mm) 0.03" 주행 평행도(mm) 0.02" 진직도(mm) 0.01" 내하중(Kg) 30 모터 형번 PK-545-NB(5P STEP) 하중(Kg) 16 드라이버 형번 DFC5114P 센서 형번 1원점 센서, 2 제한 센서 케이블 연결선 SRCN6A21-16P