MLase AG 高功率准分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000 

MLase公司自TuiLaser AG的前成员于2007年12月创立MLase以来，我们致力于开发和生产创新的高质量激光和光系统，这是由高度专业化的专家团队积累多年经验的结果。MLase AG考虑到新的技术方面，为客户提供高质量的产品。MLase AG的质量管理通过了EN ISO 13485:2016认证。

MLI 系列准分子激光器特点：
MLI 系列设备为工业应用提供具有直接波长的准分子激光器。具有市场上最长的正常运行时间和可靠性以及的运营成本。由于均匀的光束轮廓和能量稳定性，适用于要求苛刻的应用。

MLI 系列准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高达 16 mJ 的高脉冲能量和高达 1,000 Hz 的重复频率。

当然，如果需要，标准设置的激光器可以根据个人需求进行调整。如：准分子激光器可用的波长为 193 nm（气体：ArF 氟化氩）和 248 nm（气体：KrF 氟化氪）。可根据要求提供其他波长如157nm等，也可以提供如高功率版本HP

MLI 系列准分子激光器型号：
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
MLase AG高功率  MLI-HP-KrF 500 / 1000
 
高可靠性，易于集成
电晕预电离•均匀光束轮廓
固态电路•立即可用，无老化
卡套管技术•卡套管全金属密封
数十亿脉冲的延长寿命
能量监测器•能量稳定
RoHS、CE、CDRH
占空比10%（1000Hz）循环时间最大30分钟
占空比20%（500Hz）循环时间最大30分钟
占空比100%24/7
电气230V，50/60Hz，最大2300W。
尺寸（长x宽x高）560 x 355 x 445mm

参数KrF：
波长（nm）248
最大重复频率（Hz）500/1000
稳定脉冲能量（mJ）14
最大脉冲能量（mJ）20
光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3
光束发散度（FWHM，V x H mrad）2x1
平均脉冲持续时间（FWHM）（ns）8-9