赛力斯AE-电源-ASCENT AP
天津赛力斯自动化科技有限公司 2022-12-14

产品名称:AE-电源-ASCENT AP

产品型号:ASCENT AP

产品介绍AE 通过引入双极脉冲直流技术打破了双磁控溅射范式,提供了等离子体控制,而以前只有有限的控制。 Ascent AP 电源通过在双磁控溅射和现在单磁控溅射的紧凑型解决方案中引入额外的控制参数,进一步扩展了您优化输出的能力。Ascent AP 解决方案主动克制电弧,其广泛的操作范围解锁了一系列材料选项,以扩展工艺灵动性和材料创新。

性能特点

波形定制,可扩展对供电参数的访问

脉冲技术可实现显着的电弧预防、更高的功率水平和更高的吞吐量

紧凑的单机解决方案(高达 30 kW

设定点补偿™ 技术可实现稳定的吞吐量

操作范围广,可实现多种工艺材料

电介质和导电薄膜的准确溅射

提供单磁控管和双磁控管配置

扩展的过程控制、灵动性和创新

高薄膜质量和产量

可重复、可定制的电影

更高的功率水平,减少电弧损坏

易于集成和控制


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