产品名称：ATOVAC真空计（增强对流计）EG301

产品型号：EG301

产品介绍

 

通常安装在真空室内，它是一个读取真空室内实际压力的仪表，需要+24 VDC（可能为15 VDC）电源。EG301增强型对流压力计具有3~10 VDC信号输出，用于半导体工艺和真空设备。

 

性能特点

 

l 可以进行大范围的压力测量（2.0 X 10^-4至760 Torr）。

l 高精度和增加的占地面积效率。

l 提供模拟输出，以便直接连接到PLC和其他设备进行显示。

l 由于采用了7段LED，因此可以远距离读取。

l PC可以使用RS-485进行控制。

l 提供两个设置点用于外部设备和过程。

l 它可以以低成本维修（更换传感器导线）。

l 可单独使用，无需控制器。

 

技术参数

 

输入功率：+24伏直流电（可能15伏直流电)

输出功率：+3 VDC至10 VDC

工作温度：0~50℃

压力范围：2.0 X 10^-4~760Torr

显示窗口：7段LED

显示单元：托尔（Torr）

安装位置：水平

细丝：铂99.999%

法兰：NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF，1/4 VCR内螺纹，CF法兰

界面：模拟输出，RS-485，2个设定点