PIEZOCONCEPT 1轴控制器 紧凑型Z直接驱动纳米定位器 具有高速功能
北京汉达森机械技术有限公司
2023-2-20
PIEZOCONCEPT 1轴控制器 紧凑型Z直接驱动纳米定位器 具有高速功能
Z-STAGE是一款紧凑型Z直驱纳米定位器，具有高速性能。
它可以与具有66×66 mm孔径的2轴纳米定位器（LF2/LFHS2）结合，以获得SPM3或SPM3LR。Z平台可提供5、10、25或50µm的运动范围。
它可以与具有66×66 mm孔径的2轴纳米定位器（LF2/LFHS2）结合，以获得SPM3或SPM3LR。Z平台可提供5、10、25或50µm的运动范围。
该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（可提供高功率控制器）
1轴控制器
Z-STAGE通常与1轴控制器一起使用，但如果与LT2、LF2或其他压电级结合，则可以与2轴或3轴控制器一起。
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