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德国MLase准分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000技术参数

北京汉达森机械技术有限公司 2023-3-9

德国MLase准分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000技术参数

MLI系列负责工业安全和环境保护

MLI- 200 / 500 / 1000主要功能

 刚性设计

客户利益

 高可靠性

 电晕预电离 均质梁轮廓

 固态电路 立即可用，无老化

 管子技术 管道全金属密封

 寿命延长数十亿

脉冲

 能量监测器 能量稳定化

 紧凑型Excimerlaser，

单相

 易于操作，易于集成

MLI- 200 / 500 / 1000规格*

参数ArF-ArF-ArF KrF-KrF-KrF

波长（nm）193 193 248 248 248

最大重复频率（Hz）200 500 1000 200 500 1000

稳定脉冲能量（mJ）6 6 6 10 10 10

稳定脉冲功率（W）1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10

能量稳定性（σ，%）2 2 2 2

梁尺寸（FWHM，V x H mm）6x3 6x3 6x4 6x3 6x6

光束发散度（FWHM，V x H mrad）2x1 2x1 2x2 2x1 2x 1 2x1

脉冲持续时间（FWHM）（ns）5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-16

重量/设施/尺寸

重量应用程序。75千克

冷却空气

电气230V，50/60Hz，最大2000W。

尺寸（长x宽x高）560 x 315 x 445mm

王博雅
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德国MLase准分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000

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来源：北京汉达森机械技术有限公司

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