日本yutaka-crown高压流量调节器L21 L 20
济南千斗工业科技有限公司
2023-3-10
千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器,减压阀, 压力调整器 L20系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品,基本结构为外部金属密封和焊接接头规格,是具有出色外部泄漏和颗
千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器,减压阀, 压力调整器
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L20系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品,基本结构为外部金属密封和焊接接头规格,是具有出色外部泄漏和颗粒性能的产品。此外,还提供多种选件以支持多种高纯度气体,使其成为气瓶柜的理想选择。
入口压力 | 14.8MPa以下(Max.19.6MPa) |
调整压力 |
Max.0.99MPa (量程规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa) |
气源压力波动 | 入口压力:每0.1MPa调整压力变化0.00021MPa |
承受压力 | 22.2MPa(进口侧) |
Cv值 | 0.09 |
工作温度 | -10 至 +40°C |
外部泄漏 | 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法) |
内容量 | 4.67cm(不包括3个压力表和接头) |
大量的 | 约1.29kg |
安装方法 | 使用前面板安装螺母或后部螺钉安装(见外部视图) |
外观
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L21系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品,基本结构为外部金属密封和焊接接头规格,基本性能比L20系列有所提高。该产品具有优良的外漏和颗粒性能,是气缸柜的理想选择。
入口压力 | 14.8MPa以下(Max.24MPa) |
调整压力 |
Max.0.99MPa (量程规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa) |
气源压力波动 | 入口压力:每0.1MPa调整压力变化0.0005MPa以下 |
承受压力 | 31.5 MPa(入口侧)、1.5 MPa(调整侧) |
Cv值 | 0.09 |
工作温度 | -10 至 +40°C |
外部泄漏 | 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法) |
内容量 | 4.75cm(3个压力表,不含接头) 4.75cm(3个压力表,不含接头) |
大量的 | 约1.4kg |
安装方法 | 用后螺丝安装 |
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来源:济南千斗工业科技有限公司
联系人:张经理
联系方式:18625085088
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