日本yutaka-crown高压流量调节器L21 L 20
济南千斗工业科技有限公司 2023-3-10
千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器,减压阀, 压力调整器 L20系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品,基本结构为外部金属密封和焊接接头规格,是具有出色外部泄漏和颗

千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器,减压阀, 压力调整器

  • L20系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品,基本结构为外部金属密封和焊接接头规格,是具有出色外部泄漏和颗粒性能的产品。此外,还提供多种选件以支持多种高纯度气体,使其成为气瓶柜的理想选择。

入口压力 14.8MPa以下(Max.19.6MPa)
调整压力 Max.0.99MPa
(量程规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
气源压力波动 入口压力:每0.1MPa调整压力变化0.00021MPa
承受压力 22.2MPa(进口侧)
Cv值 0.09
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
内容量 4.67cm(不包括3个压力表和接头)
大量的 约1.29kg
安装方法 使用前面板安装螺母或后部螺钉安装(见外部视图)

外观

  • L21系列是专为高压型半导体工艺制造气体而设计的产品,基本结构为外部金属密封和焊接接头规格,基本性能比L20系列有所提高。该产品具有优良的外漏和颗粒性能,是气缸柜的理想选择。

入口压力 14.8MPa以下(Max.24MPa)
调整压力 Max.0.99MPa
(量程规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
气源压力波动 入口压力:每0.1MPa调整压力变化0.0005MPa以下
承受压力 31.5 MPa(入口侧)、1.5 MPa(调整侧)
Cv值 0.09
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
内容量 4.75cm(3个压力表,不含接头) 4.75cm(3个压力表,不含接头)
大量的 约1.4kg
安装方法 用后螺丝安装

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