NIKON工业干涉物镜10X/20X/50X/100X

NIKON工业干涉物镜10X/20X/50X/100X

   

尼康干涉物镜CF PLAN5X/10/20X/50X/100X DI

   

干涉物镜
	2.5x	5x	10x	20x	50x	100x
工作距离（mm）	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
NA（数值孔径）	0.055	0.15	0.30	0.45	0.55	0.7
FOV（mm）1	5093×3818	2546×1909	1270×950	637×477	254×190	127×95
空间采样（mm）2	6.64	3.32	1.62	0.83	0.33	0.17
光学分辨率蓝光（L&S）（mm）3	2.55	0.93	0.46	0.31	0.25	0.20
光学分辨率白光（L&S）（mm）3	3.04	1.11	0.56	0.37	0.30	0.24
大坡度4	3.05o	8.6o	14o	21o	25o	42o
垂直分辨率（nm）PSI7 垂直分辨率（nm）ePSI7	<0.1nm（PZT0.01nm）
垂直分辨率（nm）VSI7	1nm5mm
垂直范围PSI(mm)	5mm
垂直范围ePSI(mm)	100mm
垂直范围VSI(mm)	10mm
扫描速率（mm/s）	PSI：3-15mm/s  VSI/ePSI：4-18mm/s
一般测量时间（s）9	PSI：3s   VSI：10s  ePSI：30s