广州潽拓光电维修Edwards EXT75DX英国爱德华分子泵，Edwards EXT75DX/EXT75iDX爱德华涡轮分子泵进气法兰口DN63ISO-K/DN63CF/DN40NW/DN100ISO-K，出气法兰口DN16，抽速可达到65 L/s，转速为90000 rpm，对应的控制器为： Edwards  TIC100。