测量范围

X方向

150mm

Z1（传感器）

60mm

高度

500mm

测量精度

X指示精度

（L=X轴移动导轨距离）

±(0.7+0.002L)μm

Z1指示精度

（H=Z轴方向测量高度）

±(0.4+0.005H)μm

粗糙度

示值误差

±5%

示值稳定性

≤±7%

测量重复性

±3%

X轴

类型

光栅传感器

分辨率

0.01μm

产地

microe

直线度

0.5um/100mm

Z1轴

（传感器）

类型

光栅传感器

分辨率

0.01μm

产地

microe

评定长度

λc×3、4、5、6、7

测量速度

轮廓仪

0.02mm至4.0mm/s

粗糙度

0.1mm/s、0.32mm/s、0.5mm/s

测针

轮廓仪粗糙度仪一体

针尖R5μm  60度

工作压力

0.35～0.43Mpa

气源压力

0.45～0.80Mpa

气源流量

≥0.2 m³/min

电源

AC 220V±10%  50Hz

环境要求

温度：10～30℃；相对湿度：＜85%