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热销的日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪

深圳市秋山贸易有限公司 2021-3-1

日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪

YPI-MX-ΘDC

YPI-MN

晶圆

DF / WF-1

YPI-MX系列（自动转移）玻璃基板/蓝宝石表面检查装置

YPI-MX-XYA /YPI-MX-ΘA
玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列（自动转移）
于透明玻璃基板的机器，也支持各种背面缎面基板。
传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。

设备规格

对应板子尺寸200mm x 200mm
（如果需要200mm以上，请与我们联系）扫描方式XY扫描/Θ-X扫描（螺旋扫描）吞吐率
□200mm（XY）约4分钟
Φ200mm（Θ）2分钟以内
Φ150mm（Θ）1.5分钟以内
Φ100mm（Θ）1分钟以内工作安装转移机械手（背面吸力/边缘夹具）设备外形尺寸宽1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米体重约1,000kg能量消耗约2.0kW（100V）待检查的基材硅晶片，透明玻璃基板，蓝宝石基板，LT晶片，SiC等检测灵敏度透明玻璃基板0.2μm
硅晶圆0.1μm

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来源：深圳市秋山贸易有限公司

联系人：黄婧文

联系方式：18875910180