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RF电源维修 ( 射频系列 ) :
RFG : RFG 80,RFG 1250,RFG 1250 HALO,RFG 1251,RFG 3000,RFG 3001,RFG 5500,RFG 2K-2V,RFDS 1250,RFDS 1250-A,RFDS 3000,RFDS 2Kw-2KV

RFX : RFX 600,RFX 600A,RFX 1250,RFX 2500,RFX 5500,RFG-AZX
RFX II : RFX II 1250,RFX II 3000,RFX II 5500

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维修射频电源范围：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工艺设备电源维修，进口设备工业电源、中科院射频电源、高频电源、美国AE电源等。