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Horiba SEC-Z514MGX质量流量控制器

来自：上海进申工贸有限公司

1000人民币

发布时间：2012-11-26 关注次数：2108

产品参数

商品详情

日本HORIBA STEC-Z512MGX
日本HORIBA STEC-Z514MGX
高精度：设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的，此技术保证在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统，并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。
高速响应
SEC-Z500X 使用了最新开发的“可更改PID”系统，保证任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时，PID数据将进行自动的调整，即使在气体种类和流量范围变更后，PID数据也能够自动优化，实现高速响应。
复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 更好的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。如此一来，就可以很大程度上减少客户备品的数量，同时节省了时间和成本。