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BROOKS流量计,SLA5851S,多晶硅炉用
来自:上海网磁电子有限公司
1人民币
发布时间:2012-11-5
关注次数:418
产品参数
商品详情
SLA5850流量计是美国BROOKS流量计公司主要产品,具有优越的性能.BROOKS SLA5850质量流量计安装方便,能很好的同现有的工业仪表兼容,在不同的工作环境下均有较高的精度.
美国BROOKS流量质量控制器技术参数:
数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
流量范围:0.03-30slpm
最大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
精度:±1%FS
信号输出:RS-232/RS-485接口,4-20mA输出控制,TTL报警
SLA5850流量计内置微处理器,智能化、数字化。软件组态,数字通讯,支持微软Windows动态数据交换。
流量范围:0-30L/MIN;
精度:1%FS;
最大压力:1500psi;
最高温度:65℃;
输入/输出:0-5V;
电源:+/-15V
的质量流量计-MFC,BROOKS。专业用于制造
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用,适用的气体
有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。
气体的最大量程:50-120SLM,数字和模拟兼容
电气接口:D型15针 管道接口:3/8"VCR
交货周期:4周左右,长期订货,周期还会短。
可以完全替代和兼容MKS的相关流量计。
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