Item项目

CK-UVW-100

CK-UVW-160

CK-UVW-200

CK-UVW-300

CK-UVW-400

Stroke

行程

X axis:±5mm

X轴:±5mm

X axis:±5mm

X轴:±5mm

X axis:±5mm

X轴:±5mm

X axis:±6mm

X轴:±6mm

X axis:±3mm

X轴:±3mm

Y axis:±5mm

Y轴:±5mm

Y axis:±5mm

Y轴:±5mm

Y axis:±5mm

Y轴:±5mm

Y axis:±6mm

Y轴:±6mm

Y axis:±3mm

Y轴:±3mm

θaxis:±3°

θ轴:±3°

θaxis:±3°

θ轴:±3°

θaxis:±2.5°

θ轴:±2.5°

θaxis:±3°

θ轴:±3°

θaxis:±3°

θ轴:±3°

Table size工作台尺寸

100mm×100mm

160mm×160mm

200mm×200mm

300mm×300mm

400mm×400mm

Base size 基座尺寸

130mm×130mm

180mm×180mm

240mm×240mm

350mm×350mm

450mm×450mm

Height高度

80mm

85mm

90mm

95mm

100mm

Motor

电机

Setpping motor

步进马达

Setpping motor

步进马达

Setpping motor

步进马达

Setpping motor

步进马达

Servomotor

伺服马达

Stage material

平台材质

Lron :low temperature black chrome plating treatment   Aluminum :Black alumite treatment

铁：低温黑色铬处理     铝：黑色耐酸铝处理

Weight重量

3.5kg

8.5kg

18kg

44kg

75kg

Resolution(factory seting)分辨率（出厂时设定）

0.2μm/pulse

Repetitive positioning accuracy

重复定位精度

Within±1μm

±1μm以内

Within±0.7μm

±0.7μm以内

Within±1μm

±1μm以内

Within±1μm

±1μm以内

Within±0.7μm

±0.7μm以内

Lost motion

无效运动

Within3μm

3μm以内

Within2μm

2μm以内

Within2μm

2μm以内

Within2μm

2μm以内

Within2μm

2μm以内

Load carrying capacity when stopped

(Distributed load in the vertical direction)

静止时负载功率（垂直方向等分布载荷）

50N

500N

1000N

2000N

3000N

Load carrying capacity when moving

(Distributed load in the vertical direction)

移动时负载功率（垂直方向等分布载荷）

10N

100N

200N

400N

500N

Degree of parallelism平行度

30μm