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UVW平台

来自：深圳市创科自动化控制技术有限公司

100人民币

发布时间：2011-12-7 关注次数：1272

产品参数

商品详情

Stroke 行程	X axis:±5mm X轴:±5mm	X axis:±5mm X轴:±5mm	X axis:±5mm X轴:±5mm	X axis:±6mm X轴:±6mm	X axis:±3mm X轴:±3mm
	Y axis:±5mm Y轴:±5mm	Y axis:±5mm Y轴:±5mm	Y axis:±5mm Y轴:±5mm	Y axis:±6mm Y轴:±6mm	Y axis:±3mm Y轴:±3mm
	θaxis:±3° θ轴:±3°	θaxis:±3° θ轴:±3°	θaxis:±2.5° θ轴:±2.5°	θaxis:±3° θ轴:±3°	θaxis:±3° θ轴:±3°
Table size工作台尺寸	100mm×100mm	160mm×160mm	200mm×200mm	300mm×300mm	400mm×400mm
Base size 基座尺寸	130mm×130mm	180mm×180mm	240mm×240mm	350mm×350mm	450mm×450mm
Height高度	80mm	85mm	90mm	95mm	100mm
Motor 电机	Setpping motor 步进马达	Setpping motor 步进马达	Setpping motor 步进马达	Setpping motor 步进马达	Servomotor 伺服马达
Stage material 平台材质	Lron :low temperature black chrome plating treatment Aluminum :Black alumite treatment 铁：低温黑色铬处理铝：黑色耐酸铝处理
Weight重量	3.5kg	8.5kg	18kg	44kg	75kg
Resolution(factory seting)分辨率（出厂时设定）	0.2μm/pulse
Repetitive positioning accuracy 重复定位精度	Within±1μm ±1μm以内	Within±0.7μm ±0.7μm以内	Within±1μm ±1μm以内	Within±1μm ±1μm以内	Within±0.7μm ±0.7μm以内
Lost motion 无效运动	Within3μm 3μm以内	Within2μm 2μm以内	Within2μm 2μm以内	Within2μm 2μm以内	Within2μm 2μm以内
Load carrying capacity when stopped (Distributed load in the vertical direction) 静止时负载功率（垂直方向等分布载荷）	50N	500N	1000N	2000N	3000N
Load carrying capacity when moving (Distributed load in the vertical direction) 移动时负载功率（垂直方向等分布载荷）	10N	100N	200N	400N	500N
Degree of parallelism平行度	30μm

To other stsyem

至其他设置

Motor driver

电机驱动

Motor cable 电机电缆

Sensor cable 传感器电缆

Sequencer

定序器

Camera

摄像机

Image Processing

System

图像处理装置

Screen printing equipment Panel joining and mounting equipment

(chip components ,PCB,FPC) (LCD,EL, touch panel ,solar cell)

丝网打印机 面板贴合、COG、FOG、贴装装置

(片状部件、PCB、电路板、FPC电路板) (LCD、EL、触摸面板民、太阳能电池)

Lithography machines prober testing equipment (chip components ,PCB,FPC) (PCB ,liquid crystal devices ,electronic components ,FPD lighting tests )

曝光机 探测器检测装置

(片状部件/PCB电路板/FPC电路板) (PBC电路板、水晶设备、电子部件、FPD亮灯检测)

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E-mail:szcktech@163.com http://www.szcktech.com www.ckvision.net

地址：深圳市宝安区福永街道左侧莱福大厦4楼F室 Address:4 F room, laifu building, the fu yong street on the left, Baoan District ,Shenzhen

Ultra Slim Stage with Electric Actuators arranged on the Same Plan

将电动传动装置安装于同一平面上的超薄型平台

Employs a slider with a “preload double slide ” construction that consists of a middle plate inserted between upper and ower plates

Features an array of balls arranged between each plate that enables smooth ,flat plane rolling motion

A simple , ultra slim construction with a low center of gravity achieved by the three actuators positioned on the same plane

This construction contributes to device miniaturization

滑动部分采用的结构是通过上下2片板将中间板夹住的“预滑型双滑动”构造。

要各板这间装有多个滑珠，实现了平稳的平面滚动运动。

而且由于3个传动装置安装在同一个平面上，因此实现了低重心，超薄型的简单构造。对装置的小型化做出了贡献。

Ultra slim and simple construction Small footprint

超薄型简单构造 节省空间

Highly precise positioning Low center of gravity

商精度定位低重心平台

Highly rigid

高刚性

Driving each of 3 actuators arranged on the same plane enables a variety of table movement.

使安装在同一平面上的3个传动装置各自进行动作以此进行动作,以此可实现各种工作台动作.

Driving the V and W axes the same amount in the same direction moves the Y direction

使V、W轴在同一方向上进行相同的动作，则工作台向Y方向移动

Driving the U axis moves the table in the X direction使U轴动作,则工作台向X方向动

Example of rotating the table using the table center as the axis of rotation (θ axis)这是工作台以工作台中心为旋转中心进行旋转（θ轴）的示例

Driving the V and W axes the same amount in the same direction while driving the U axis moves the table diagonally

使V、W轴在同一方向上进行相同量的动作，同时也使U轴动作，则工作台向倾斜方向移动

Example of rotating the table using an arbitrary point as the axis of rotation(θ axis).这是工作台以任意点为中心进行旋转（θ轴）的示例

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