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SpecEI 椭偏仪 北京德东科技有限公司
来自:北京德东科技有限公司
面议
发布时间:2012-7-3
关注次数:344
产品参数
商品详情
SpecEl 椭偏仪
集成的精确测量系统
SpecEl由一个集成的光源,一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成,并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜,并且折射率测量可达0.005%。
SpecEl可通过电话问价。
SpecEl软件及Recipe配置文件
通过SpecEI软件,你可以配置及存贮实验设计方法实现一键分析,所有的配置会被存入recipe文件中。创建recipe后,你可以选择不同的recipe来执行你的实验。
SpecEI软件截图显示的Psi及Delta值可以用来计算厚度,折射率及吸光率。 |
配置说明
波长范围: | 380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选) |
光学分辨率: | 4.0 nm FWHM |
测量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角: | 70° |
膜厚: | 单透明膜1-5000 nm |
光点尺寸: | 2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µm x 400 µm (可选) |
采样时间: | 3-15s (最小) |
动态记录: | 3 seconds |
机械公差 (height): | +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
膜层数: | 至多32层 |
参考: | 不用 |
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