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等离子去光阻机
等离子去光阻机
来自：招远普斯玛等离子技术有限公司
面议
发布时间：2012-11-7 关注次数：312
产品参数
产品参数
品牌 戈德尔
规格型号 650(W)×900(D)×1600(H)mm
编号 GDR-60G
计量单位 台
付款方式 面议
价格单位 人民币
商品详情
采用电感耦合高密度等离子体(ICP)，能快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆表面洁净，具有蚀刻率高，无电极污染，离子能量低，不损伤基板等优点。
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招远普斯玛等离子技术有限公司
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