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微波等离子清洗机
来自:招远普斯玛等离子技术有限公司
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发布时间:2012-11-7
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产品参数
商品详情
WB300采用专利高密度微波等离子技术,用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理,微波等离子高度活性、高效,且不会对电子装置产生离子损害。
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