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真空泵主泵：在真空泵系统中，用于获得所需要真空度来满足特定的工艺需求的真空泵就是我们这里所讲的主泵，例如我们常见的真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。而前级泵主要是用于维持某一真空泵前级压强按照相关标准低于其临界前级压强的真空泵设备。例如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵是指从大气压下开始抽气活动，并且将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵机器。例如我们常见的真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵的一种。在维修过程中不管是何种真空泵出现了问题，