产品名称：SENS4真空传感器VPM-5

产品型号：VPM-5

产品介绍：

VPM-5传感器提供良好性能，并通过将可用的电导率真空测量仪的可用测量范围扩展到1-3年来建立了新标准技术，再加上新型的准确数字信号处理架构和创新测量算法。

性能特点：

•超宽的测量范围为9年

•通过S4-Connect USB程序员简化配置

•0-10 VDC可编程电压输出

•数字RS-232或RS485接口

•稳定Zero漂移补偿

•可选的固态设定点继电器用于过程控制

参数：

•磁滞1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

•滞后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

•模拟输出分辨率：16位（150 µV）

•模拟输出更新率：124 Hz

•响应时间（ISO 19685：2017）：<20 ms

•温度补偿：+10至+50°C

•固态继电器设定点范围：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

•固态继电器接触评级：50 V，100 MARMS / MADC

环境条件:

•操作环境温度：-20至+50°C

•介质温度：-20至+50°C

•存储环境温度：-40至+120°C

•烘烤温度（非操作）：+120°C

•安装位置：任意

•湿度，IEC 68-2-38：98％，无调

电源:

•电源电压：12-30 VDC

•功耗：240 MW（max）

•反极性保护：是

•电压保护：是

•内部保险丝：100 mA（可回收）

应用：

•质谱仪

•扫描电子显微镜

•炉热处理

•玻璃，光学，工具等的PVD涂层

•制冷服务和制造

•半导体处理