三菱伺服电机停下来还在抖什么原因、伺服电机抖动、伺服电机抖动原因、伺服电机停下来后转动、伺服电机来回摆动、伺服电机停止后抖动

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问题的发生应该是：机械轴的位置环超调或机械传动滞后造成的。因为机械轴的伺服控制回路采用全闭环，虽然坐标在指令控制下精停在某位置，但是由于机械滞后的原因，使得坐标在停止后，机械传动环节的内应力使坐标停止后有时回动一下，于是面板上会有显示跟随误差的情况。

解决方法：

1、检查机械轴的光栅尺读数头是否无损，如有污损用麂皮轻拭，再仔细安装回原位，试机，若故障依旧继续向下进行。

2、检查伺服电机轴与滚珠丝杠的连接是否可靠，如正常，继续向下。

3、检查机械轴坐标机械传动环节润滑良好否，如丝杠、导轨油膜厚度正常否，若正常继续向下。

4、脱开伺服电机轴与滚珠丝杠的连接，用手轻轻盘动丝杠，注意必须正反向轻轻盘，感觉是否有顿滞感，若有，则轴承、丝杠螺母损坏。

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