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基本参数

旋转工作台：

回转精度：（0.025+6H/10000）μm

回转速度：4、6、8、10rpm

台面承载：25kg

回转直径：560mm

测量直径：280mm

轴承类型：气浮轴承

垂直轴（Z轴）：

立柱行程：320mm

检测深度：100mm(最小内径：35mm)

垂直移动方式：电动

立柱直线度：0.3μm/100mm

水平臂（X轴）：

水平移动：165mm

突出量：25mm

水平移动方式：电动

检测器：

采集器件：圆光栅

圆周采样点数：16384点

传感器类型：电动传感器

传感器量程：±300μm

传感器分辨率：0.001μm

X向 Z向： 高精度光栅传感器

产品特点

★ 的补偿算法，对Ｚ轴精度进行补偿。

★ 可测量锥形柱体的锥度（小锥体）。

★ 气浮运动轴系，精度保持长。

★ 各轴系采用进口精密光栅计数。

★ 关键件采用特殊去应力合金材料及特殊的去应力处理工艺，精度保持长久。

★ 高精度采集控制系统，控制系统所有电路按军品标准设计、生产及验收。

★ 能在20±2℃的温度区间内稳定工作。

★ 软件自主研发，模块化设计使用户维护成本降至。

★ 配置灵活，可据根用户要求配置。