ALS130H机械轴承直驱直线级

设计特点

1双向重复性达到75纳米

2用于超精密运动的直驱直线电机

3高精度非接触式玻璃秤线性编码器

4平滑运动的防保持架蠕动交叉滚子轴承

5占地面积小，性能卓越

ALS130H具有亚纳米分辨率、卓越的双向重复性和出色的低速性能，是高性能测试、测量、检测和其他苛刻应用的无与伦比的解决方案。更多技术内容及应用请王义鑫 186-12-88-99-38

直线电机驱动

与许多使用侧驱动丝杠的级不同，ALS130H采用中心驱动的非齿槽直线电机作为驱动元件。由于直线电机是直接驱动装置，因此没有通常与丝杠或滚珠丝杠传动相关的齿隙、卷绕或“静摩擦”。

直线电机驱动还具有速度和加速度更高的优势。紧凑而强大的线性电机将ALS130H驱动至峰值空载加速度为1 g，zui大速度为300 mm/s。其结果是高性能级具有出色的吞吐量，显著优于同等的高精度螺杆驱动级。

异常分辨率

对于校准应用，出色的逐级分辨率至关重要。ALS130H与Aerotech控件配合使用时，分辨率为0.5 nm，满足了这一要求。

直驱式直线电机允许ALS130H进行、小分辨率步进。这在步进精度至关重要的对准应用中尤为重要。此外，线性电机和高分辨率编码器系统还提供了出色的位置稳定性。

高级几何

Aerotech的超硬结构和紧凑的两件式设计使舞台具有无与伦比的几何公差。因此，标准工作台的直线度和平整度在整个行程中为%3C 1微米。更多技术内容及应用请王义鑫 186-12-88-99-38

平稳旅行

ALS130H专为平滑、无振动运动而设计，利用精密的防保持架蠕动交叉滚子轴承实现出色的运动平滑性。由于轴承系统和驱动系统都不使用任何再循环元件，ALS130H表现出扫描和检查应用所需的出色无波纹运动。

专为长寿而设计

像Aerotech产品系列的所有阶段一样，ALS130H的设计旨在实现卓越的长期性能。线性电机和线性编码器都是非接触式设备——它们不仅寿命长，而且完全免维护。移动磁轨设计消除了电缆管理需求，进一步提高了长期可靠性。

对准

ALS130H系列载物台易于配置为XY组件。选项包括5弧秒的正交对准和可用的垂直轴解决方案。

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于该系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望与您的系统进行定制集成支持，更多技术内容及应用请王义鑫 186-12-88-99-38

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