CL6200、CL4200
日本小野CL-6200用于导体、半导体及绝缘体测量。可广泛应用于硅晶片、铁板、胶片、玻璃板等。与各种传感器配套,可测量0.1 μm ~99.9999mm (导体・半导体测量时)及0.1 μm~5.000mm (绝缘体测量时)。
CL-6200 は測定対象として、アルミディスクなどの導体、シリコンウェハなどの半導体、プラスチックフィルムなどの絶縁体を測定できます。さらに、補助信号や演算式を追加することが可能です。(特注対応)
もちろん、2 チャンネル高精度変位計としても使用でき、豊富な演算式を使って多様なアプリケーションが可能です。また、BCD パラレル出力、RS - 232C 等豊富な出力機能を標準装備。さらに、インライン用のパラレルⅠ/O インタフェースなども追加組み込み可能で、シーケンサ等と組合せも容易です。(特注対応)
特長
測定対象に影響を与えない、非接触による測定
ディジタル表示のため、読み取りが簡単
単純なセンサの構造が、優れた耐久性を実現
独自の演算方式により高精度・高安定性・高分解能
インラインによる厚さ測定が可能
導体・半導体から絶縁体まで測定対象は広範囲
演算機能内蔵のため、各種演算統計処理が可能
ディジタル出力、プリンタ用出力を備えていますので、記録等が可能
豊富なインタフェースにより、計測制御のシステムアップが可能
測定方法/演算式の追加・登録が可能
測定サンプル例 |
導体・半導体 |
絶縁体 |
シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。 |
ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類。 |
概略仕様
測定項目 |
|
表示モード |
|
分解能 |
CL-6200型に、予めセットされたセンサにより自動的に決定。センサ7種までセット可能。
|
パラメータ設定 |
測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、内部メモリーに設定します。これらの設定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。 |
サンプリング時間 |
20ms、80ms選択 |
アベレージング |
アナログ出力/BCD出力/CMP出力時
|
リアルタイムデータ処理 |
測定データの最大値、最小値をリアルタイムで表示 |
データ・メモリー |
測定データを内部メモリーより記憶。また、記憶されたデータを使って各種演算統計処理をします。
|
コンパレー夕機能 |
独立した2チャンネルのコンパレータ機能を内蔵。 出力:ノーマルオープン無電圧接点 |
表示 |
320×240ドットリックス液晶表示 |
アナログ出カ |
任意に対象を選択可能な2つのアナログ出力
|
プリンタ出力 |
計測データをプリント出カ(セントロニクス準拠) |
外部コントロール |
外部の接点信号等により、制御可能
|
インタフエース/入力信号 |
|
電源 |
AC 100V ~ 240V 50/60 Hz 消費電力 60 VA 以下 |
使用環境(本体のみ) |
温度:+18 ℃~+28 ℃(精度保証範囲)、0 ℃~+40 ℃(使用範囲) 湿度:20~80 %R.H.(但し結露しないこと) |
外形寸法 |
315(W)×150(H)×345(D)mm |
質量 |
約 6 kg |