1、X射线光电子能谱（XPS） 
2、俄歇电子能谱（AES物质的组织成相结构
3、X射线衍射仪（XRD）
4、扫描电子显微镜(SEM)
5、X射线能谱仪(EDS)
6、微纳米力学综合测试系统
7、电化学综合测试仪
8、轮廓仪  
9、金相显微镜
10、X射线荧光测厚仪  等
极高的表面灵敏度 < 10nm
检测原子序数大于氦的所有元素, 检测极限:0.1％
化学价态信息
深度分布
面扫描、线扫描分析

X光管：Cu靶、Co靶
光路：聚焦光路用于体相材料分析，同时配备高温样品台，温度范围：室温～1200℃
小角衍射（薄膜样品）
利用全反射可以测薄膜厚度

粉末、块体试样的物相测定
晶粒度、点阵常数测定
钢和铸铁中残余奥氏体测定
表面涂层、渗层物相分析
材料失效与事故分析
首饰鉴定
研究材料的高温相变过程
薄膜材料的物相结构