1.1概述

水蒸气蒸发混合器是一种可以产生含水蒸汽混合气体的装置。它可以产生水蒸气与另外一路气体以任意比例混合的气体，且该气体的流量和温度皆可连续调节。适用于CEM3002、CEM3020和CEM3080等型号。

1.2 工作原理

1.2.1主机部分
主机由1路气体流量计量模块、1路水蒸气计量蒸发模块、1个气体预热混合器和系统控制平台组成。水通过计量泵精确计量流量后进入蒸发器，并且得到完全蒸发。另外1路载气经过质量流量计计量流量后，与水蒸气在预热混合器中进行充分混合后输出。通过调节载气的流量和水泵的流量，可以调节混合气体中水的含量以及气体总流量。通过预热混合器可以调节控制混合器输出的问题。

1.2.2定制附件：主机与应用设备伴热连接
当主机与应用设备距离较远时，可以定制一套伴热连接管路。它包含3个温控：1个电伴热管线温控以及2个管接头伴热温控。伴热管线是一体成型的，而管接头伴热采用方便拆卸的加热带。

1.3 参数指标

1.4 包装清单

1.5 设备接口

前方视图

背面视图

2.安装与操作
2.1 清点部件

请根据订单清点，主要包括主机、电源线（CEM3020/CEM3002）等

2.2安装电源

CEM3002/CEM3020电源线为16A的插头，准备一个与现场220V电源联通的插座，将插头插入插座内。
CEM3080电源线为6mm2的三芯线缆（5.5kW），请在现场电工的帮助下进行电源连接。

2.3 安装水源

CEM3080：水桶是放置在主机外面的，将主机上的进水管投入水桶中即可。
CEM3020：打开主机正面下部的门，可以将一个20L的水桶置于主机下部，将进水管投入水桶中即可。
CEM3002: 打开主机正面下部的门，可以将一个≤20L的水桶或者试剂瓶置于主机下部，将进水管投入水桶/瓶中即可。

2.4 安装气源

将外部气源管插接到进气口的快插接头中即可。

2.5 安装主机与应用设备之间的伴热管

需要预约工程师现场确定伴热管布置，测量所需长度后定制伴热管，再到现场安装。

注意
1.水源要采用去离子水
2. 不可用力拉扯进水管！
3.管接头伴热测温的热电偶连接线需布置妥当，放置使用中不小心扯松，导致测温不正常烧坏伴热带

2.6 快速操作

2.6.1 打开设备电源
（1）在前面板上打开主控开关
（2）按下系统开关按钮，启动触摸屏主页面

2.6.2 预热设备
（1）启动蒸发器：在主页面上点击蒸发器“设置”按钮，进入蒸发器设置页面；将SV设置为所需温度。
SV的温度越高蒸发器的蒸发能力越强。对于CEM3020和CEM3080，SV设置为220℃和180℃可以达到设计的最大蒸发能力。

（2）启动伴热器：在主页面上点击伴热器的“设置”按钮，进入伴热设置页面。通常伴热的温度设置为120℃即可。如果主机和应用设备之间没有接附件，则可以不设置下面的三个伴热。

（3）启动预热混合器：在主页面上点击预热混合器的“设置”按钮，进入预热混合器的设置界面。把出口气体温度控制部分的SV设置为所需的目标温度。超温保护设置，通常出厂已经设置好。

（4）在主机前面板上，打开加热开关。

2.6.3 发生混合气体

待上述3个部件都达到预热温度后：
（1）在主页面上点击质量流量计的“设置”按钮，进入质量流量计设置页面，可以调节载气流量。

（2）在主页面上点击进液泵的“设置”按钮