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稀有金属催化剂包含Sc、La、Ce、Pr等稀有金属元素，因多种活性组分之间的协同作用，有利于催化剂酸性位点的增加，氧化物流动性增加，催化活性增强，因而表现出较好的催化性能。金属原料易于获得且成本低，因而稀有金属催化剂更加适用于工业VOCs的催化燃烧。此外，稀有金属氧化物还具有使用寿命长、稳定性好、再生能力强、易于形成很多不同尺寸和形状的金属氧化物等优点。

贵金属如Pt、Pd、Rh等因良好的催化性能被应用于烷烃、烯烃、苯、醛、酮类等VOCs催化氧化燃烧中，但它们的价格昂贵，储存量低，经常会因为烧结或中毒失活，而且在氯化物化合物存在下也不太稳定，限制了它们的广泛工业应用。