aerotech ANT130XY双轴XY纳米定位级平台
我们的超精密ANT130XY载物台采用集成的双轴设计，可提供卓越的平面性能和出色的几何特性。ANT130XY载物台配备刚性、抗蠕变交叉滚子轴承、高分辨率位置反馈和无铁芯直线电机，可实现最平稳、最精确的运动，并通过超高精度2D校准进一步增强，以优化最苛刻的检测和制造工艺。此外，动态优化的设计可实现令人印象深刻的速度和工艺吞吐量。

设计特点
增强的第二代设计
实现最小增量运动至 0.5 nm - 新
通过集成的 XY 设计优化正交性、直线度和平整度
通过 ULTRA 校准选件保证 ±225 nm 或更高的二维精度
采用高精度交叉滚子轴承，具有出色的动态性能和充足的负载能力
通过无铁芯直驱直线电机最大限度地提高过程吞吐量和可靠性

主要应用
ANT130XY非常适合需要高精度和动态定位性能的多轴应用，包括：

光子学组装和检查
光纤对准和优化
光学制造、测试和检验
传感器测试和认证
半导体加工和检测
表面计量和剖面测量
研究和实验室应用
超精密载物台设计
ANT130XY的集成双轴设计允许您优化关键的几何元素，如正交性，直线度和平整度，从而产生具有出色运动特性的载物台。我们的直接驱动技术没有滞后或间隙，可在 X 和 Y 尺寸上实现精确且可重复的纳米级运动。ANT130XY 提供三种行程选项，范围从 60 mm x 60 mm 到 160 mm x 160 mm，所有行程均具有 85 mm 的紧凑总高度。