?面板尺寸：圆形，直径352mm
?面板材质：铝
?适用硅片：直径小于305mm
?控制方式：标配的台式控制器可进行远程编程控制，也可通过RS232 I / O端口进行PC或工业控制器远程控制
?程序控制：可设置5个程序，每个程序可设置10个步骤，程序可进行1-99次或无限次循环
?加热板底部有温度指示灯环，未运行时为蓝色，加热并温度低于50℃为黄色，高于50℃时为红色。当温度稳定在±0.2℃时灯光闪烁。
?内置可声音报警倒计时器，并可设定自动关闭
?温度范围：室温到350℃
?温度可读性：1℃
?温度精度：设置温度的1，已校准到0.1℃以保证准确性
?温度均一性：中心点到19mm半径以内的温度差小于1
?温度稳定性：±1℃
?温度梯度范围：1-450℃/hr，1℃可调
?功率：1500w

加热面板规格：
外形：直径352mm，高146mm
重量：9.5kg

控制器规格：
外形：长127mm x宽64mm x 高102mm
重量：0.5kg