供应Horiba 数字式质量流量计Z524、Z522 流量计

流量20SLPM 30SLPM ,腐蚀性气体

型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可选 数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可选 模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

国内组装模拟型：HoribaS48 28、horiba S48 32、S300

国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212??????

产品概述

日本horiba Z522、Z524数字式质量流量控制器属于SEC-500X系列， 数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，我公司提供 Z524、Z522，保修期1年。

产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地 气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超 ±1.0 S.P. (25- F.S.); ±0.25 F.S. (≤25 F.S.);
3) 快速响应 lt;1秒>4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)；

?SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)

产品参数

本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器 质量流量控制器

进口数字型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG

进口 数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

进口 模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、

国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、

国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液体流量控制器LV-F20 PO、LV-F30?PO、LV-F30?PO、LV-F40 PO、LV-F