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OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R\/TGkine4200M-R
来自:上海盈炽商贸有限公司
33.33人民币
发布时间:2024-3-21
关注次数:64
产品参数
商品详情
产品参数 | |||
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OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R / TGkine4200M-R 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
重量 | 72KG | ||
驱动方式 | 电动 | ||
输送介质 | 空气 | ||
吸气口法兰 | VG300 / ISO-B320/VG350 | ||
排气口法兰 | KF40/KF50 | ||
排気速度N2 (L/s) | 3600/4200 | ||
排気速度H2 (L/s) | 2700 | ||
起动时间 | ≦12min | ||
停止时间 | ≦14min | ||
安装方向 | 正立或倒立安装 | ||
可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
型号 | TGkine3800M-R / TGkine4200M-R |
OSAKA分子泵 大阪分子泵
TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
产品特点:
省电设计??????在真空泵本体中,可存储设置参数,运转数据及异常历史等。?
※即使在维护阶段更换控制器,也可实现全数据转移。??????
支持多种通信接口规格 (兼容EtherCAT通信协定)??????
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
产品应用:半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器技术参数:
型号※1 | TGkine3800M-R | TGkine4200M-R | |
吸气口法兰 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
排气口法兰※2 | KF40 / KF50 | ||
排气速度 | N2?(L/s) | 3600 | 4200 |
N2(付带金属保护网)?(L/s) | 3400 | 4000 | |
H2?(L/s) | 2700 | 2700 | |
zui大压缩比 | N2 | >2×108 | |
H2 | 2×103 | ||
zui大气体流量※3、※4 | N2?(sccm) | 2800 | |
Ar?(sccm) | 1300 | ||
起动时间 | (min) | ≦12 | |
停止时间 | (min) | ≦14 | |
到达压力※5 | (Pa) | <5×10-7 | |
(Torr) | <3.8×10-9 | ||
zui大排气口压力※6 | (Pa) | 160 | |
(Torr) | 1.2 | ||
推荐前级泵 | (L/min) | ≧2000 | |
安装方向 | 正立或倒立安装 | ||
质量 | (kg) | 72 / 74 | 70 |
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