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OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R\/TGkine4200M-R
OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R\/TGkine4200M-R
来自:上海盈炽商贸有限公司
33.33人民币
发布时间:2024-3-21 关注次数:64
产品参数
产品参数
品牌 OSAKA大阪真空
规格型号 完善
编号 齐全
计量单位
付款方式 面议
价格单位 人民币
商品详情
产品参数
OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R / TGkine4200M-R 品牌OSAKA大阪真空
重量72KG
驱动方式电动
输送介质空气
吸气口法兰VG300 / ISO-B320/VG350
排气口法兰KF40/KF50
排気速度N2 (L/s)3600/4200
排気速度H2 (L/s)2700
起动时间≦12min
停止时间≦14min
安装方向正立或倒立安装
可售卖地北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆
型号TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

OSAKA分子泵 大阪分子泵

TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

产品特点:

省电设计??????
在真空泵本体中,可存储设置参数,运转数据及异常历史等。?
 
※即使在维护阶段更换控制器,也可实现全数据转移。??????
支持多种通信接口规格 (兼容EtherCAT通信协定)??????
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2

产品应用:半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器
技术参数:
型号※1TGkine3800M-RTGkine4200M-R
吸气口法兰VG300 / ISO-B320VG350
排气口法兰※2KF40 / KF50
排气速度N2?(L/s)36004200
N2(付带金属保护网)?(L/s)34004000
H2?(L/s)27002700
zui大压缩比N2>2×108
H22×103
zui大气体流量※3、※4N2?(sccm)2800
Ar?(sccm)1300
起动时间(min)≦12
停止时间(min)≦14
到达压力※5(Pa)<5×10-7
(Torr)<3.8×10-9
zui大排气口压力※6(Pa)160
(Torr)1.2
推荐前级泵(L/min)≧2000
安装方向正立或倒立安装
质量(kg)72 / 7470

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