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OSAKA大阪真空全方位安装复合分子泵TG-F系列
OSAKA大阪真空全方位安装复合分子泵TG-F系列
来自：上海盈炽商贸有限公司
22.22人民币
发布时间：2024-3-21 关注次数：64
产品参数
产品参数
品牌 OSAKA大阪真空
规格型号 完善
编号 齐全
计量单位
付款方式 面议
价格单位 人民币
商品详情
产品参数
品牌OSAKA大阪真空
吸气口法兰VG100 CF100 ISO-R100
极限压力1×10-6Pa
启动时间2-2.5min
停止时间5-6.5min
安装角度任意
可售卖地北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆


OSAKA大阪真空

全方位安装复合分子泵 TG-F系列

使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。

产品型号：

TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F

TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

产品特点：

全方位安装
?轻巧设计
?节能
?迅速启动

?使用破控功能可迅速停止

?耐大气冲击能力强

?多种通信模式

?符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

产品应用：

半导体制造
?电子枪排气，离子源排气
?FPD制造
?表面处理，表面改质
?各种电子部件的制造
?分析，试验装置
?管球制造，光学部件制造
?加速器，放射线设施，核聚变研究
?热处理
?研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列


技术参数：

吸气口法兰VG100
CF100
ISO-R100
排气速度VG/ISO-R?CF N2?(L/s)350/330
VG/ISO-R?CF N2(附加金属保护网) (L/s)330/310
VG/ISO-R?CF H2?(L/s)210
zui大压缩比N21×108
H22×103
极限压力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
zui大气体流量※1N2 (sccm)500
启动时间(min)?2-2.5
停止时间(min)5-6.5
允许辅助压力(Pa/Torr)260/2
推荐辅助泵(L/min)≧80
安装角度任意
重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6
  • ※1：辅助泵的容量是160L/min情况下的zui大容许流量
  • [ 使用环境温度 ]
  • 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。

  • 控制器型式TC353
    输入电压(ACV)100-110 (±10) / 200-230 (±10)
    输入频率(Hz)50/60
    相数単相
    所需zui大电力(VA)610
    输出频率(Hz)750
    重量(kg)2.7
    标准附属品?输入接头 1个
    ?远控接插头 1个
    ?通信接插头1个
    ?使用说明书 (机身，通信)各1套



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