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KOFLOC5400流量控制器日本质量流量控制器
KOFLOC5400流量控制器日本质量流量控制器
来自:北京芯笙微纳电子科技有限公司
1.10人民币
发布时间:2024-4-8 关注次数:35
产品参数
产品参数
品牌 KLFLOC
规格型号 完善
编号 齐全
计量单位
付款方式 面议
价格单位 人民币
商品详情
产品参数
品牌KLFLOC
是否进口
加工定制
可售卖地全国
型号5400
货号5400

  5400系列

日本KOFLOC

  KOFLOC5400流量控制器 日本质量流量控制器系列质量流量控制器-金属密封

  金属密封,泄漏率1*10-11pa·m3/s以下

适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下

  ±15VDC供电性能稳定,0-5V模拟信号更加通用

KOFLOC5400流量控制器 日本质量流量控制器电气连接

  

5400质量流量控制器

  

量程(N2)

  

10SCCM-20SLPM(另外50SLM)

  

精度

  

±1.0FS

  

重复性

  

±0.2FS

  

响应时间

  

1秒以内

  

耐压

  

1.0Mpa

  

进口压力

  

O.3Mpa

  

动作压差

  

0.05-0.3Mpa

  

泄漏率

  

1*10-11pa·m3/s以下

  

温度范围

  

5-45℃

  

湿度范围

  

10-90RH(不能结露)

  

材质

  

本体SUS316L

  

密封圈SUS316L、PTFE

  

电气接口

  

DB9

  

模拟信号

  

0-5V输入/输出

  

供电

  

15VDC(±5)100mA;-15VDC(±5)100mA;

  

管路连接

  

标配1/4UJR

  

选配1/8UJR

  

重量

  

约1000g

  

  KOFLOC5400流量控制器 日本质量流量控制器电气连接

针脚/颜色

  

定义

  

1针脚/棕色

  

阀门全开/全闭

  

2针脚/白色

  

0-5V输出

  

3针脚/红色

  

15VDC

  

4针脚/黑色

  

电源COM

  

5针脚/黄色

  

-15VDC

  

6针脚/灰色

  

0-5V输入

  

7针脚/绿色

  

输出COM

  

8针脚/兰色

  

输入COM

  

9针脚/紫色

  

阀门电源输出

  

  KOFLOC5400流量控制器 日本质量流量控制器使用注意

一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干燥干净《湿度不超过90(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。

三:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。

四:耐压1.0Mpa,进口压力3公斤。

五:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下 再操作。

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北京芯笙微纳电子科技有限公司
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