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飞秒激光蚀刻设备可针对玻璃硅片氧化锆陶瓷材料刻蚀划线刻槽
来自:武汉元禄光电技术有限公司
210000.00人民币
发布时间:2024-9-16
关注次数:7
产品参数
商品详情
产品参数 | |||
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型号 | ET1260-FF | ||
刻蚀最小线宽 | <10 um(最大可以去除95%以上的氧化物镀层) | ||
激光器 | 飞秒、皮秒、纳秒激光器,波长1030nm/532nm/1064nm | ||
整机精度 | ±15μm | ||
加工幅面 | 1200*600mm/600*500mm/500*400mm(可定制加工幅面) | ||
最小线间距 | <10μm | ||
聚焦光斑 | <10 um | ||
工作台定位精度 | ±2um | ||
激光器频率调节范围 | 20-5000KHz | ||
工作台重复精度 | ±1um | ||
CCD自动定位精度 | ±2um | ||
刻蚀速度 | <4000mm/s | ||
设备尺寸 | 1950mmL×1700mmW×1960mmH(根据实际尺寸而定) | ||
设备重量 | 3500kg | ||
功率消耗 | <3000W | ||
可处理文件格式 | 标准CAD2004版DXF文件 | ||
品牌 | 元禄光电 |
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