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钙钛矿激光刻蚀适用于导电银浆碳粉石墨烯碳纳米管刻蚀划线
钙钛矿激光刻蚀适用于导电银浆碳粉石墨烯碳纳米管刻蚀划线
来自:武汉元禄光电技术有限公司
220000.00人民币
发布时间:2024-9-16 关注次数:12
产品参数
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品牌 元禄光电
规格型号 纳秒绿光532nm
编号 纳秒绿光532nm
计量单位
付款方式 面议
价格单位 人民币
商品详情
产品参数
型号纳秒绿光ET200MG、飞秒红外ET300IR-FS皮秒紫外ET300UV-PS、皮秒绿光ET300MGPS、飞秒绿光ET300MG-FS、实验室刻蚀机 ET100IR/ET100MG
刻蚀最小线宽<10 um(最大可以去除95%以上的氧化物镀层)
激光器纳秒绿光532nm、皮秒绿光532nm、皮秒紫外355nm、飞秒红外1030nm、飞秒绿光515nm、实验室刻蚀机1064/532nm
整机精度±15μm
加工幅面100*100/200*200/300*300/400*300/600*600/600*900/700*1400mm可选 可定制加工幅面
最小线宽<30μm<10μm<50um
聚焦光斑<30μm/<10μm/<50um
工作台定位精度±3um/±20μm
激光器频率调节范围30-150KHz/1-1000KHz/25-5000KHz/1-2000KHz/
工作台重复精度±1um/±20μm
CCD自动定位精度±3um/±10μm
刻蚀速度最大刻蚀速度4000mm/s(单线)
设备尺寸1200*1200*1700mm(300*00mm幅面约1000 大尺寸及双光路 /1280*1400*1750mm(300*300mm幅面内)约1800Kg 皮秒/飞秒 电话联系 /1800*1800*1750mm(600*600mm幅面内) 约2500kg皮秒/飞秒
设备重量3500kg
功率5W/10W/15W/20W/30W/40W
可处理文件格式标准CAD DXF文件
振镜10/14mm通光孔径
聚焦镜40*40/70*70/110*110mm幅面(根据不同的应用场景选择)
扩束镜4X、2-8X可调、1.5X
热影响区<5μm/<3μm
直线度±10μm/±5μm(最小可至±1μm)/±20μm
Z轴电机行程50mm(自动软件控制)/手动500mm
设备功耗<2500W/<3000W/<1500W
品牌元禄光电








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武汉元禄光电技术有限公司
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