圆光栅

TONIC RESM

SiGNUM RESM圆光栅在高速和高温时能够保证精度、分辨率和重复精度
还具有超低的周期误差和IN-TRAC™光学参考零位
其性能适于精度要求极高的测量场合
概述
SiGNUM™ RESM圆光栅在高速和高温时能够保证精度、分辨率和重复精度。它还具有超低的周期误差和IN-TRAC™光学参考零位。RESM圆光栅的性能适于精度要求极高的测量场合。SiGNUM™还提供直线光栅。
SR读数头和Si接口盒的特性与优点
系统由SR读数头、Si接口盒和RELM 20 µm栅距的圆光栅组成。
动态信号控制确保周期误差为±30 nm，具有“精细栅距”光栅性能
最高工作速度达4 500转/分，最高工作温度达85°C
在大多数开放式光栅都不适用的条件下，仍具有优异的信号稳定性。
IP64“可反复使用的读数头”在被冷却液喷溅或浸没之后只需"擦拭干净”即可恢复原样
Si接口盒提供具有工业标准的模拟和数字输出
FANUC串行兼容接口 (Si-FN) 直接通过接口进行FANUC串行通讯，以提高性能并简化连接（Si-FN仅与直径为Ø52 mm、Ø104 mm、Ø209 mm和Ø417 mm的圆光栅兼容）
用户可选的AGC保持1 Vpp的模拟信号幅度
读数头和接口盒上的LED指示灯能够实现最佳安装和系统诊断
高柔性、UL认证的电缆 — 在读数头和接口盒之间长达10 m
提供可选的IP68内置接头

RESM圆光栅的特性与优点
RESM圆光栅为一体式不锈钢圆光栅，其柱面上直接刻有20 µm栅距的刻线并具有IN-TRAC™自动调相光学参考零位。轻薄小巧的RESM有多种尺寸（直径从52 mm到550 mm）和刻线数可供选择，具有内径大、安装灵活的特点。
IN-TRAC™自动调相光学参考零位，在工作速度超过4,500转/分 (Ø52 mm) 且温度达85°C时具有双向、可重复功能
提供多种直径和刻线数，可与一系列具有行业标准的控制器兼容（直径从52 mm到550 mm，刻线数从8,192到86 400）
具有专利的锥面安装方式极大地降低了安装误差，简化了系统集成
刻划精度达±0.5角秒*，系统重复精度达0.02角秒（20 nm Si接口盒和Ø413 mm圆光栅）
10 mm x 10 mm小截面圆光栅
低质量与低转动惯量的设计增强了系统精度和动态性能
一体式不锈钢圆光栅能够抵御振动、机械和热撞击，以及热负载
为了保证更高的加速度和减速度以及更快的恢复时间，还可提供转动惯量极低的"B"截面圆光栅
FANUC串行Si-FN接口与Ø52 mm、Ø104 mm、Ø209 mm和Ø417 mm圆光栅兼容
还可提供与部分圆弧应用相关的用户可选定位、双光学限位
*200 mm RESA圆光栅的典型结果

SiGNUM™软件
SiGNUM™是计算机软件，可以实现全面的校正、设定优化及“实时”诊断，从而简化了系统安装与维护。Si接口盒通过一个微型USB接头连接在计算机上。
对包括信号强度表、利萨如 (Lissajous) 图形和IRED反馈表（AGC驱动）在内的信号水平和系统性能进行“实时”远程监控，帮助系统实现优化
俯仰调节指示器可精细调整读数头俯仰度
参考零位信号和增量信号快速、简单的远程校准
在实时闭环操作过程中，通过USB对系统性能进行远程监控
系统在非最佳状态（警告功能）和出现任何错误（报警功能）时向用户发出报警
技术“信息”指南提供系统功能和查错的上下文说明和详细解释
系统配置页面显示Si接口盒配置详细分辨率、时钟频率等信息
通过FANUC串行Si-FN接口可获得DRO功能。
多语言用户接口可使用户从英语、德语、意大利语和日语中进行选择

技术规格
读数头尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm (H x L x W)
输出（分辨率） RS422： 5 µm、1 µm、0.5 µm、0.2 µm、0.1 µm、50 nm、20 nm、10 nm、5 nm。
模拟： 1 Vpp
FANUC串行： 20位、23位、24位、25位、26位
细分 Si接口（x4至x4000）
参考零位 IN-TRAC™自动调相光学参考零位
限位开关 用户定位的双光学限位
最高速度 4500转/分
间隙公差 0.8 ±0.08 mm
栅尺类型 20 µm栅距RESM圆光栅
真空兼容 否
系统精度 — 20 µm栅距RESM与SiGNUM™
标称外径 (mm) 系统精度（角秒） 标称外径 (mm) 系统精度（角秒）
52 4.28 206 1.08
57 3.91 209 1.07
75 2.97 229 0.97
100 2.23 255 0.87
101 2.21 300 0.74
103 2.16 350 0.64
104 2.14 413 0.54
115 1.94 417 0.53
150 1.49 489 0.46
200 1.11 550 0.41