Parker天然气调压阀veriflo减压阀

派克汉尼汾公司veriflo划分介绍了bfr5k气体调整器系列。是的bfr5k响应的创建需要一个小，高流量，高性能半导体加工调节器。

 这个国家的最先进的设备的基础上的知识—在veriflo平方加工获得的边缘调节线提供清洁的操作—世界上可利用的气体成分。的bfr5k提供稳定出口压力在各种各样的流动条件下

率高5000 SLPM。

独特的平衡阀设计允许调节器保持出口压力不改变设置在上游压力下。

特征：

标准的316L不锈钢支架

321不锈钢波纹管。

高流量小容量压力降。

平衡阀芯为最小

供给压力效应。

为了提升加束缚隔膜安全。

飓风清理“近乎绝对”污染控制。

能够在很宽的范围内工作的

流量从100到10000 SLPM。

建筑设计与材料确保与半导体的兼容性大宗气体。

材料

阀体。........“vericlean”，veriflo的高纯度

。..............316L型不锈钢TM

座椅。..............................PCTFE

贝洛斯：

内。........................铬镍铁合金®

七百一十八外。..................321不锈钢

提升和装饰。. . ........“vericlean”，veriflo的高纯316L不锈钢

操作条件

最大入口压力。............500 psig。

出口压力。..................0-200表压

温度。....- 40°F到150°F（- 40°C到66°C）

表面光洁度

标准的RA。........... . ....10英寸（25微米）或以下

可选的RA。..............EV = 5微英寸（13微米）或以下