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电子制造业厂洁净室厂房特点:
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。 这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
●电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)
●电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流  洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
●电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
● 电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值：
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
 电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项：
●保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量：
●根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量：
●向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量：

随着电子信息产业技术的发展，许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，越来越要求生产环境具有一定的空气洁净度和环境的控制。目前国内还没有统一的电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定，所以一般是依据《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001）以及电子产品的生产厂家实际经验等来确定电子厂房的洁净度等级和温湿度的要求。       

在无尘车间洁净工程的设计过程中，应根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。   

无尘车间的洁净度      

（个案）LCD制屏的简略流程为：

清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。       

室内空气参数要求       

◆温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5％。       

◆新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的值：非单向流洁净室总送风量的10-30％；补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。       

◆送风量大。为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量（换气次数，是≥25次/h）；如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量（换气次数，是≥15次/h）。

洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。 

本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。 在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。

洁净室：

洁净区空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

◆移动式洁净小室可整体移动位置的小型洁净室。有刚性或薄膜围档两类。

◆人身净化用室人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

◆物料净化用室物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

◆粒径由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。 

◆悬浮粒子用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1～5μm的固体和液体粒子。

◆超微粒子具有当量直径小于0.1μm的粒子。

◆微粒子具有当量直径大于5μm的粒子。 

◆粒径分布粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。 2.0.11 含尘浓度单位体积空气中悬浮粒子的颗数。 

◆洁净度以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。 ◆气流流型 air pattern  对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。

◆单向流沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 ◆◆垂直单向流与水平面垂直的单向流。

◆水平单向流与水平面平行的单向流。 

◆非单向流凡不符合单向流定义的气流。

◆混合流单向流和非单向流组合的气流。

◆洁净工作区指洁净室内离地面高度0.8～1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。

◆空气吹淋室利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。

◆气闸室设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。

◆传递窗在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗扇。

◆洁净工作台能够保持操作空间所需洁净度的工作台。 

◆洁净工作服为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。

◆空态设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。 

◆静态设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

◆动态设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。

◆检漏试验检查空气过滤器及与安装框架连接部位等的密封性试验。 

◆高效空气过滤器在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。

◆超高效空气过滤器 ULPA（ultra low penetration airfilter）  在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。 

◆纯水对电解质杂质含量（常以电阻率表征）和非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均有要求的水。 

◆防静电环境能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。 

◆表面电阻在材料的表面上两电极间所加直流电压与流过两极间的稳态电流之商。

◆体积电阻在材料的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。该电流不包括沿材料表面的电流。 

◆率在材料表面层的直流电场强度与稳态电流线密度之商。

◆体积电阻率在材料内层的直流电场强度与稳态电流密度之商。其量纲为Ω·cm。 

◆专用消防口消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开。

◆自净时间洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。

◆生物洁净室洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间。

 2.0.40 浮游菌洁净室悬浮在空气中的菌落。

◆沉降菌洁净室降落在培养皿上的菌落。

洁净厂房位置选择和总平面布置：

洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定:  ◆应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。 

◆应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等，有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧。 

◆应布置在厂区内环境清洁、人流、物流不穿越或少穿越的地段。 

◆对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。

◆洁净厂房与交通干道之间的距离宜大于50m。 

◆洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路），如有困难，可沿厂房的两个长边设置消防车道。 

◆洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性能好、发尘少的材料。 

◆洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。

工艺平面布置应符合下列要求:

◆工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。 

◆在满足生产工艺和噪声要求的前提下，空气洁净度等级高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。 

◆洁净室内要求空气洁净度等级高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。 

◆应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。 

◆不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时，宜设有防止污染的措施，如缓冲间、气闸室、传递窗等。 

◆应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。

洁净厂房的平面和空间设计，应满足生产工艺和空气洁净度等级要求。洁净区、人员净化、物料净化和其它辅助用房应分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统各种技术设施的综合协调。

洁净厂房内应少设隔间，但在下列情况下应予分隔: 

◆按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。 

◆生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。 

◆在满足生产工艺和空气洁净度等级要求的条件下，洁净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、各种管线等）的布置，应优先考虑净化空调系统的要求。

洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。

◆洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求: 

◆洁净室内墙壁和顶棚的表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于除尘，并应减少凹凸面。

◆洁净室不宜采用砌筑墙抹灰墙面，当必须采用时宜干燥作业，抹灰应采用高级抹灰标准。墙面抹灰后应刷涂料面层，并应选用难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。

洁净室地面设计应符合下列要求: 

◆洁净室地面应满足生产工艺要求。 

◆洁净室地面应平整，耐磨、易清洗，不易积聚静电，避免眩光，不开裂等。

◆地面垫层宜配筋，潮湿地区垫层应做防潮构造。 

◆5.3.4 洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚表面应平整、光滑，位于地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。 

洁净室（区）外窗设计应符合下列要求:

◆当洁净室（区）和人员净化用室设置外窗时，应采用双层玻璃固定窗，并应有良好的气密性。

◆靠洁净室室内一侧窗不宜设窗台。 

洁净室内的密闭门应朝空气洁净度较高的房间开启，并加设闭门器，无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。 

洁净室门窗、墙壁、顶棚等的设计应符合下列要求:  

◆洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面的构造和施工缝隙，均应采取可靠的密闭措施。

◆当采用轻质构造顶棚做技术夹层时，夹层内宜设检修通道。

◆洁净室窗宜与内墙面齐平，不宜设窗台。 

◆洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数:顶棚和墙面宜为0.6～0.8，地面宜为0.15～0.35。 

◆对8级以上的洁净室，其墙板和顶棚宜采用轻质壁板构造。

◆设计选用的装修材料的燃烧性能必须符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》（GB 50222）的规定

空气净化：

空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列要求:

◆空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器。

◆空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。 

◆中效（高中效）空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。 

◆亚高效和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在净化空调系统的末端；超高效过滤器必须设置在净化空调系统的末端。 

◆设置在同一洁净区内的高效（亚高效、超高效）空气过滤器的阻力、效率宜相近。 

◆高效（亚高效、超高效）空气过滤器安装前应进行检漏，安装应严密，安装方式应简便、可靠，易于检漏和更换。 

◆对较大型的洁净厂房的净化空调系统的新风宜集中进行空气净化处理。

◆净化空调系统设计应合理利用回风。

◆净化空调系统的风机宜采取变频措施。  

◆净化空调系统的电加热器、电加湿器应采取安全保护措施。寒冷地区的新风系统应设置防冻保护措施

空气净化一般规定：

洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求。

◆根据空气洁净度等级的不同要求，选用不同的气流流型。

下列情况之一者，其净化空调系统宜分开设置: 

◆运行班次或使用时间不同。 

◆生产工艺中某工序散发的物质或气体对其它工序的产品质量有影响。

◆对温、湿度控制要求差别大。

◆净化空调系统与一般空调系统

洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:

◆补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。

◆保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。 

洁净区的清扫:一般情况下宜采用移动式高效真空吸尘器；对于1级到5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。

洁净室压差控制：

洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:

◆补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。

◆保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

洁净区的清扫:一般情况下宜采用移动式高效真空吸尘器；对于1级到5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。

广州市正一净化科技有限公司：

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