正一净化专注工业厂房空气净化工程解决方案,整体厂房装修规划-生产车间平面设计、装修方案设计、整体装修施工
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电子制造业厂洁净室厂房特点:
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
1:电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2:电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流 洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3:电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4:电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
5:补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6:保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项最大值:
7:保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量:
8:根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量:
9:向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量:
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电子工业洁净室的设计
电子工业洁净室的特点一是大,二是多变。几千平方米、上万平方米的面积并不少见。电子工业的技术更新快,工艺变了,平面布局就要跟着变,因此平面上不宜有固定的分隔,特别是很小的分隔。具体说,有以下一些独特之处应加注意。
(1)平面由工艺决定,电子工业洁净厂房的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性,满足产品生产工艺改造和扩大生产的需求。
(2) 主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不宜采用内墙承重体系。
(3)大型电子工业洁净厂房常采用上技术夹层、下技术夹层这种“夹心”式多层构造。
(4)应考虑大型生产工艺设备的安装、维修要求,设置必要的运输通道和不影响洁净生产环境的安装口或检修口。
(5)电子工业洁净室按二级耐火等级设计。
(6)特种气体的储存和分配间应有耐火隔墙与洁净室(区)分开,该墙耐火极限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物气瓶存区至少三面是敞开的,气瓶与周围构筑物或围栏之间的距离应大于3M,储存区设置的雨篷应不低于3.5M。
(7)电子工业洁净室的装饰材料不得采用释放对电子产品有影响物质的材料。
(8)电子工业洁净室允许设空气吹淋室,这是和一般生物洁净室不同的。吹淋室应与洁净工作服更衣室相邻。单人吹淋室按最大班人数为30人一间设计,当工作人员超过5人时,应设旁门,当人数太多或为了缩短通过时间,也可设遂道式吹淋室。
(9)对于高级别洁净室,为了尽可能不影响气流的单向性、平行性,照明灯具采用净化泪珠形灯具。
(10)电子工业洁净室常要根据生产工艺要求设置防静电环境,以便抑制静电的产生,将已产生的静电迅速、安全的排除。
(11)电子工业洁净室友有对防微振的特殊要求,在厂地环境上应避开振动源。
(12)电子工业洁净室除有一般给排水要求外,对超大规格集成电路的用水也有标准。
电子工业洁净厂房设计规范
批准部门
中华人民共和国住房和城乡建设部
目的:
为在电子工业洁净厂房设计中,做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量,并符合劳动卫生和环境保护的要求,制定本规范。
适用范围:
本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。
无尘室技术参数
换气次数:十万级10-15次/小时;万级15-25次/小时;千级50-52次/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s。 压差:主车间对相邻房间≥5Pa。 温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相对湿度:45-65%(RH);噪声≤65dB(A);新风补充量:总送风量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
广州市正一净化科技有限公司:
承接:100-30万级净化工程装修、GMP净化工程、化妆品厂净化工程、SC食品厂净化工程、电子恒温恒湿洁净厂房工程、行业无尘车间设计装修、商用厨房装修工程、医疗器械净化车间工程、实验室净化工程;
设备系列:风淋室、货淋室、过滤器、传递窗、送风口、洁净工作台、自净器、层流罩、FFU过滤单元
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