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【江苏湿法设备】钟罩清洗机
来自:江苏英思特半导体科技有限公司
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发布时间:2020-9-18
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产品参数
商品详情
江苏英思特
1.本石英钟罩清洗设备是手动的半导体工艺清洗湿台,适用于LPE外延炉PE2061(S)、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗,为钟罩清洗部分和浸泡部分共同组成
2.整机主要由机架、操作台面、排风、清洗槽体、电器控制系统组成, SUS不锈钢制作,外包PP板
3.清洗时,石英钟罩竖放其中,可作360度旋转,速度为5RPM;旋转台直径为500mm。
4.并配有氮气吹干槽.
5.还根据客户要求设计制作此石英钟罩清洗设备
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