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日本光洋 高温洁净烤箱CLH(Ⅲ)系列
来自:青岛澳海源国际贸易有限公司
面议
发布时间:2019-11-15
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产品参数
商品详情
配备有耐热高性能过滤器和冷却器,此烤箱可覆盖 530°C的工作温度。适用于需要高精度加工的加工,例如半导体晶圆和聚酰亚胺固化。它也可以用于生产和应用产品。
・工作温度
RT + 70℃〜450℃/ 530℃(H型)
・温度分布*储罐中的2/3
±5℃(450℃),±8℃(530℃)
・达到的氧气浓度:20ppm 以下
・清洁度:100级(ISO:5级)
(温度稳定时)
・热风方向;侧流
・内部尺寸(mm)
CLH-21CD(H)(III); 670W×700H×500D
・工作温度
RT + 70℃〜450℃/ 530℃(H型)
・温度分布*储罐中的2/3
±5℃(450℃),±8℃(530℃)
・达到的氧气浓度:20ppm 以下
・清洁度:100级(ISO:5级)
(温度稳定时)
・热风方向;侧流
・内部尺寸(mm)
CLH-21CD(H)(III); 670W×700H×500D
CLH-35CD( H)(III); 670W×790H×670D
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