一.技术参数

X轴(驱动部分)

  测量范围:    标准型和退避型为16mm，横向型为5.6mm

  测量速度:    测量：0.25mm/s,0.5mm/s,0.75mm/s   返回：1mm/s

检测器

  范围:        360μm(-200μm到+160μm)

  分辨力:      360μm/0.02μm，100μm/0.006μm，25μm/0.002μm

  检测方法:    有轨测量

  探针针尖:    90°/5μmR 测力4mN

               60°/2μmR 测力0.75mN

  导头压力:    小于400mN

电源:          内置可充电镍氢电池/AC适配器

电池寿命:      大约可测量1000次

充电时间:      大约4个小时

外形尺寸：     W115×D23×H26mm（包含检出器）

外部I/O功能:   USB I/F，数显输出，打印机输出，RS-232C I/F，脚踏开关 I/F

型号

SJ-210

驱动器

标准型

退避型

横向型

检测器测力

0.75mN

4mN

0.75mN

4mN

0.75mN

4mN

货号(mm)

178-560-01DC

178-560-02DC

178-562-01DC

178-562-02DC

178-564-01DC

178-564-02DC

 (inch/mm)

178-561-01DC

178-561-02DC

178-563-01DC

178-563-02DC

178-565-01DC

178-565-02DC