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单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特

单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特

来自：北京芯笙微纳电子科技有限公司

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发布时间：2022-7-5 关注次数：519

产品参数

商品详情

单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特，请考虑使用PCU系列便携式气体流量校准仪。艾里卡特的PCU系列便携式气体流量校准仪是二级校准标定仪，将三台量程不同（1500 slpm）的高精度流量计以及累加器集成到一个耐用的工业箱内，方便携带。PCU系列便携式气体流量校准仪可采用两个9伏的蓄电池或者随附AC线缆供电，还配有艾里卡特Flow Vision SC™软件。

多功能。配有简单的推动连接接头或可选配压力接头，综合可调比高达1,000,000：1（例如1 sccm – 1000 slpm）的量程，可快速校准多台仪表。
准确。实时测量并完成流量累加，具有NIST可溯源精度（0.4%读数+0.2%满量程），适用于低至满量程1/200^th的各种气体，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
耐用。PCU系列便携式气体流量校准仪将流量计集成到一个耐用型硬质箱子内，且能抵抗坠落带来的影响。

PCU系列便携式气体流量校准仪还有我们的Whisper系列低压损配置型号（即PCUW系列）以及可用于腐蚀性气体的316L配置型号（即PCUS系列）。

单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特性能

可用量程：

选择任意三台量程不超过1500 slpm（PCU和PCUS）或者250 slpm（PCUW）的流量计

所有流量计均配有流量累加器

可调比：高达1,000,000：1（3台仪表综合可调比）
校准精度高（NIST可溯源）（PCU标准精度）：±0.4%读数+0.2%满量程
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：5-10ms
无需预热时间

单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特工作条件

兼容气体：98种（PCU和PCUW系列）或130（PCUS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
内部压力（静态）：145 psig/160 psia（PCU和PCUS系列）或者45 psig/60 psia（PCUW系列）
差压（进口至出口）：75 psid（PCU和PCUS系列）或者15 psid（PCUW系列）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特包装清单

PCU系列便携式气体流量校准仪（内部安装多达三台高精度质量流量计）
各流量计显示屏下方安装的推动连接接头
USB A-B线缆（用于与电脑连接）
双头9针D-sub模拟接口串行线缆（用于与多点式集线盒相连接）
通用电源
Flow Vision SC软件
各台流量计的NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书

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