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美国艾里卡特ALICAT国内代理商气体质量流量计 控制器性能
- 可用量程:0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MB系列)或者100:1(MBS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间