1、美国MKS控制器产品介绍
使用DELTA™流量比控制器(FRC)，优化过程性能变得更加容易。DELTA™流量比控制器(FRC)广泛用于各种分流应用，例如蚀刻、剥离和PECVD，使用户能够将气体或气体混合物分配到工艺室的不同区域。DELTA™II流量比例控制器以用户的比例分配和控制混合工艺气体流向工艺室内的多个腔室或区域，从而最大限度地提高工艺均匀性和可重复性。它可用于EtherCAT®或DeviceNet™通信。

2、美国MKS控制器产品特征
分配和控制流向两个腔室或区域的工艺气体
用于在运行期间监控设备的嵌入式以太网
模拟、EtherCAT®或DeviceNet™通信
更宽的动态控制范围，可实现低至5%满量程流量的比率控制
获得的控制算法可实现更快的响应比设定点
使用标准网络浏览器-无需特殊软件
3、美国MKS控制器产品优势
DELTA II具有更宽的动态比率控制范围，更能适应不同的刀具和工艺条件。MKS开发了一种独特的正在申请的比率控制算法，使比率和流量响应时间小于两(2)秒。这种控制算法还支持20比1的比率控制范围，是其行业领先前身的两倍多。DELTA II的诊断功能允许用户在现场检查DELTA的性能，通过减少“未发现问题”设备的移除来降低成本。此功能通过通过设备的以太网端口访问的Web浏览器实用程序启用。该实用程序使用标准的网络浏览器——不需要特殊软件。访问时，可通过设备高亮LED显示屏访问IP地址。

4、美国MKS控制器产品信息
DELTA II广泛用于各种分流应用，如蚀刻、剥离和CVD，使用户能够将气体或气体混合物分配到工艺室中的两个不同区域。向DELTA II发送气体（或任何混合物）和比率设定点，DELTA II将自动且精确地将气体分成两个独立的输出通道。吞吐量和过程控制一直是半导体器件制造商的关键。随着300毫米晶圆和双工艺室的出现，控制气流分布的新方法变得越来越需要。300毫米晶圆加工通常需要对整个晶圆的气体分布进行可调控制，以提供更好的工艺均匀性。双工艺室需要适当的气体分布，以便与单源气体面板的室匹配。

5、美国MKS控制器产品技术数据
最大工作出口压力：200托
最大允许出口压差：50托（Q1和Q2之间）
正常工作压差：<150托（对于10000/10000，<450托）（N2）
证明压力：1000磅/平方英寸
爆破压力：1500磅/平方英寸
输入流量范围：每个通道的5到100%满量程额定值（N2等效）
比率控制范围：1:1到20:1和20:1到1:1
比率精度：比率设定点的2%
典型精度：比率设定点的0.3%
比率重复性和再现性：通道满量程的0.02%
零温度系数：0.05%满量程/°C
跨度温度系数：0.08%读数/°C
热身时间：30分钟
工作温度：10至40°C

6、美国MKS控制器产品部分型号
美国MKS控制器DELTA™IV 4
美国MKS控制器DELTA™II
美国MKS控制器DLT2A2
美国MKS控制器DLT2B
美国MKS控制器DLT2A1
美国MKS控制器DLT3B

美国MKS控制器DLTNA3

Lovato    TM ST
AII  GPR12-333PPM 02 SENSOR,S/N:504342747
RELECO  QR-C C7-A20，DC110V，3.6A
STI  DT-S11F1S0
Schenck    RTN 1t C3
SOLARTRON  OD4
BD  压力传感器DMP331-111-2001-1-3-100-300-1-000
Dynisco  TPT4634-35MPA-6/18
Turck     BL20-E-8AI-U/I-4PT/NI/ET
SCHMALZ  电缆10.06.02.00031
Dynisco  MDT422F-1/2-50-15/110-A
Parker  电磁阀D1VW001CNJEE
BERU   点火电极ZE14-12   长度88.94mm
SOR   311581-ND1703
MAGTROL   称重传感器LB220-011/001
HYDAC   溢流阀DB12120A-01X-250V
TWK 电子式接触器ER40-24DC-300DC-A03/24VDC
Prominent普罗名特  CNPb1000PVT200AC1D
Dynisco   传感器TPT4636-5M-6/18-RTD1
VICKERS    DGMA-3-C1-10
SKF   轴承加热器TWIM15/230V
MTS  RH-M-0350M-D63-1-P102
HYDAC 压力传感器HAD 3840-A-350-190带插头停产替代HDA4842-A-350-416
BAUMER   编码器 ITD70A4Y7 1024IMP 8~30VDC
KROM  VK 80F10T5A6L3DVZ
Dynisco    传感器NP-465XL-1/2  50mpa
DOLD   安全继电器   LG5925.48 3NO+1NC
SOCOMEC  Stromwandler 200A TCB 44-50 Kl. 0,5 192T5020
HYDAC    压力开关VD 5D.0/-W-LED 04/20 DC24V 可能是VD5D.0/-V-LED
AI-TEK  转速传感器70085-1010-412
IFM   接近开关IB0016  IBE2020-FBOA
HYDAC   压力传感器HDA4445-A-250-000
IFM   开关 6-EFECTOR; IN5207 IN-2002- FRKG; U:10… 55V DC I:400MA SCP T26; D45127
LINCOLN林肯   超声波液位开关 SONAR-SENSOR BPU1-V375-L800 200  664-34009-2
WOERNER     液位开关KFA-A/F/0/N/056C/Z3N/250
DYNISCO   压力传感器  2242NAOOM21CEFFBCAZZB628
TR    CXS65S-00002
LEUZE  AMS 304i 200 Part number:50113679
HYDAC   数显温度控制器ETS388-5-150-000
高诺斯 Crouzet   备件号： 84872057   65-260V   升级为84872.152
Weidmuller   浪涌保护器1352900000 VPU II 4 400V/40KA    升级为VPU II 4 R 400
FESTO  10P-14-8C-MP-N-Y-C3JMJJM+GQC
Bently  探头330103-00-07-10-02-00
HIROSAWA/IKURA  THA1-7556X-TP-N/O WITH SENSOR AJC017-N.O., AC200V 50/60HZ FOR VS-520B
HS-COOLER冷却器  KS25-BCV-421 L2400
MOELLER    辅助继电器DILAC-40 DC220V，带底座
ROLAND  SCI20S-GG 40米
SIEMENS西门子  CE-0085AP0001
BALLUFF巴鲁夫   位移传感器BTL7-S573-M1800-8-S32
NORGREN  减压阀B38P 444 M1MA
耐震压力表国产   压力范围：0～5000psi，压力等级：1.6，压力表接头：1/4″ NPTM，安装形式：轴向偏心嵌装式，带边；表盘直径：150mm，充液防震，材质：304不锈钢
CEAG     插头GHG5117306R0001  220v
SUN    CBCA-LIN-EBA 30-105 BAR/503 697报价型号CBCA-LIN-EBA
BRAUN   D124,1S2U2M     NO.:1406040019
Rexroth 4WE 10 D50/OFEG24N9K4/M
schmersal     端门行程开关ZIR236-11z-M20
Kubler   编码器  8.5020.0A40.1024.S046.EX   No.:2116704468
MTS   RHM0280MR031A01
PIZZATO    VF L56
SOLARTRON  AX 2 5S
REXROTH   位置传感器 GIV50-11
HYDAC   VD2LZ.1/-BO
BD 压力传感器DMP331-110-1001-1-3-100-300-1-000
VERSA  EZM-3143-4-Z-HC-110V50-120V60
ROSEEMOUNT  3051TG3A2B21AB4E 8M5HR5,0-10.3bar
TWK  CRE58-4096G24CE01
意大利carpanelll   电机  B5  报 价型号  Drehstrommotor Typ 63L/4a
EUROTHERM   EPOWER/4PH-400A/600V/230V/×××/×××/×××/OO/Y2/
P+F   光电开关\漫射式\RLK31-8-2500-IR/31/115\PNP
IPF    传感器OR170120   10-30VDC 200mA  Sn:4m
STAUBLI    RMI209.12.7102/JV
RELECO   继电器C4-A40 DX/DC 24V
S+B VCS09611ERT8P2+1*OGF6B
DESTACO迪斯泰克   8MB-056-1 磁性开关支架
ASCO  SCE272A017MS  230/50
IMAV   阀RVPS-10N-C-0-50
Bauer    电机BS40-62U/D08MA4-G-S/ESX010A9
Bihl+Wiedemann    模块BWU 2544
Honeywell RA890G1229
SAUER  DANFOSS    GRL074BLS2525NNN3 S1N2A1NAAANNNNNN
Voith   附件 Schmelzsicherungsschraube Set X1 - M18 bestehend aus: 5 Schmelzsicherungsschrauben 2  Dichtring für Füllschraube
SENSOR ENDRESS+HAUSER  FTM20-AG42A
Hanovia  130027-2001-C
DESTACO   8EA-030-1
HYDAC    温度控制器ETS3868-5-000-000-30       150℃  DC24V
E-T-A   继电器 ESS20-003-DC24V 10A 4个起订
HENGSTLER   0547884
RHM1720MK021S1G6100
SUN   CWIA-LHN-QCXS
Phoenix   圆形连接器SACC-M12MSB-5CON-PG9 SH AU
SKF    PPU-5 阀
Rexroth  A4FM22/32W-NSCO2
IPF  接近开关IB120155 10-35VDC 120mA
Rexroth   换向阀4WEH10J4X/6EG24N9TS2K4
德国Krom schroder    点火控制器 BCU480-5/3/1LW3GBD2  已停产，升级型号 88610638 BCU480-5/3/1LW3GBD2
SICK  障碍物传感器TIM320-1031000
ECKERLE    EIPH2-016RP30-1X 包括附件（6000200234）
MOOG  D661-6573C G08JOAA4VSX2HA
DESTACO迪斯泰克   8MB-055-1 开关总成(带支架)JB报价只是磁带KASSETTE
BERMAD  IR-3"-110-Y-P-FF-UC-9DS-PP-X
RHM1200MP101S1G8100
IPF   接近开关 IB080150
MTS   EPS0270MD601AO
美国warner    制动器TB5000IM      24VDC     23w
HYDAC  EDS-346-2-250-000
日本丰兴TOYOOKI    HRD3-BG3-1-04B-WYD2
CAREL  EVD0000E20控制器
 MTS P-M-0700M-D53-A-P102
Rexroth   电磁换向阀4WE6YX6X/EW220N9K4
Bently   瓦振传感器9200-01-05-10-00
VERSA  EZM-3143-4-Z-HC-A120 A120 = 120V60Hz
ECKERLE爱珂勒   齿轮油泵  890-E1-0800-RS2-C503