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氧化钛激光刻蚀机，氧化锆激光刻蚀机，氧化锌激光刻蚀机

来自：武汉元禄光电技术有限公司

100人民币

发布时间：2019-4-16 关注次数：462

产品参数

商品详情

设备主要用于太阳能钙钛矿电池激光刻蚀，适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀，同时可针对白玻璃基底激光划线。设备标准尺寸1200*600mm，同时预留出小面积300*300mm内的小幅面加工需求。

设备简介

设备采用固体激光器，激光波长1030nm，适合对导电玻璃与镀层进行精细刻线；采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀，操作简单，方便快捷；通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计，加上真空吸附托盘装置，能有效地解决激光刻蚀机在加工运行中的平稳性；采用独特除尘系统设计，能保证玻璃与工作平面的清洁，保证激光刻蚀过程中无残留。

设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体，具有高灵活性、高精度、高速度等先进制造技术的特征。可大范围内进行各种图案，各种尺寸的精密、高速刻蚀，并且能够保证很高的产能，是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。

适用材料

玻璃基底上薄膜激光刻蚀，触摸屏、光伏太阳能电池、电至色玻璃、其它显示屏。可用于导电银浆、ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、碳粉、金、银等导电金属、氧化物材料处理。同时，可加工白玻璃激光划线应用，最小线宽小于10微米。

整体说明

主要构成：激光器、光路系统、工作台、控制系统、定位系统、抽尘系统、真吸附空系统等组成。

主要技术参数

型号	ET1260-FF钙钛矿电池激光刻蚀机
激光器	飞秒、皮秒激光器，波长1030nm/532nm	纳秒激光器，波长1064nm
加工幅面	1200600mm（可定制小幅面或更大加工幅面，已预留小面积300300mm加工幅面）
聚焦光斑	＜10μm	＜20μm
激光器频率调节范围	20-5000KHz	100-500KHz
刻蚀最小线宽	＜10 um	＜20μm
	（最大可以去除95%以上的氧化物镀层）
整机精度	±15μm	±20μm
最小线间距	＜10μm	＜20μm
工作台定位精度	±2um
工作台重复精度	±1um
CCD自动定位精度	±2um
刻蚀速度	＜4000mm/s
设备尺寸	1950mmL×1700mmW×1960mmH
设备重量	3500kg
功率消耗	＜3000W
可处理文件格式	标准CAD2004版DXF文件