深圳Shimadzu 分子泵|岛津TMP-3303磁悬浮分子泵保养|真空设备维修

配件名称	配件型号
冷泵	U20P
机械泵组	PS602-SC
真空计	390417-0-YE-T
冷泵	U20P
机械泵组	PS602-SC
真空计	390417-0-YE-T
冷泵	U20P
机械泵组	PS602-SC
冷泵	CT-8
机械泵组	干泵 GV80 罗茨泵 BSJ70L
真空计	MPG400
干泵3个	NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E
真空计A	/
真空计B	/
真空计C	/
干泵3个	NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E
真空计A	/
真空计B	/
真空计C	/
冷泵	COOLVAC 1000iCL
机械泵	EV-S50P
真空计	SERIES 355
真空计	PSG500-S
冷泵	DZB550
机械泵组	干泵 GSD120B 罗茨泵 BSJ150L
真空计	PSG500
真空计	MPG400
分子泵×3	TYFB-2000Z两个 TYFB-1300Z一个
机械泵组	干泵 GV80 罗茨泵 BSJ70L
真空计	PSG500
真空计	MPG400

Lam PN:796-160763-101 Turbo Pump With TMP Controller and Asscioations TMP-2404LMTC(L2爱德华 EDWARDS STP- iXA4506CV分子泵

AMAT3870-01767阀门VALVE PNEU DIAPH 140PSIG CTI ON-BOARD500 Cryopump ISO KPD p/n8116544G002

主要的真空泵维修品牌有：日本Kashiyama真空泵维修，日本Shimadzu岛津分子泵维修，英国Edwards爱德华真空泵维修，德国Pfeiffer普发真空泵维修，

德国Leybold莱宝真空泵维修，美国Agilent安捷伦真空泵维修，日本岩田真空泵维修，法国ALCATEL真空泵维修，日本爱发科ULVAC真空泵维修,瑞士VAT阀门等进口真空泵维修，

真空泵油及其配件耗材等。公司自成立以来以快速的反映能力，过硬的质量，优质的服务，性价比高广受好评。

3000平米维修车间 3大维修中心

MKS Gauge356006-YE 355400-0-YE-T   STP-XA2730  AKT CVD POWER P/N 0190-71517 REV 1直流电源

Micro_Ion Gauge 355 Micro ion 90（355018）

PFEIFFERVACUUM真空泵MVP020-3 DC

普发ACP15,40, 爱德华nxds 6i,10i，15i,20i,XDS 5,10,kashiyama neodry 30EAMAT3930-01147oem MKS VODM33CR1BE

HORIBA流量计injection valve3030-17632/3030-18942

气体质量流量计气体流量控制MKS 1159B 通用型

目前所做的MFC的相关品牌和型号如下列出：MKSGE50A质量流量控制器 UNIT、TYLAN、MKS、STEC、BROOKS、AREA； UNIT:UFC-1000 1100 1200  1500 1660 8100 8160 1661 8161； Tylan: FC-260 261 2900v 2900M 2901 280； MKS:1149A 1479A 1159B； STEC:SEC-4400 E40 E50 7440 7330 7340 440J 410 510； Brooks 5850E 5851E 5850EM 5964 GF100 5850I 5853； AERE：FC-7700 7800  770AC 780C 7710CD 7810CD R7700CD R7800CD 980C D980

MKS电源EDGE210R40A-G12/660-210103-225CMLH-31-120S09

MKS7650/AX7651电源RPS销售和维修

MFC-BF3/PH3

GRANVILLE-PHILLIPS/MKS390510-2-YG-T/355400-0-TE-T/355400-0-YE-M

AMAT1350-01173气体控制器压力控制器mks640B-29652/640A14312

MKS Type 640 Pressure Controller 640A21TW1VA2V-S new

货物清单号  # CONB-2509

这个MKS压力控制器是全新的，工程剩余产品，性能和外观都非常完美。如果您的设备上有类似产品需要进行更新替换，请联系我们购买。

产品说明:

Model No: 640A21TW1VA2V-S

Range: 20 Torr

VCR connection, 15 pin interface

CE marked

Made in USA

拍前请联系店主  普发真空计PKR251 英福康

产品简介：

瑞士INFICON PEG100潘宁真空计，这款坚固的潘宁冷阴极电离真空计可准确测量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空压力。 还有现场总线可供选择。

PEG100潘宁真空计 的详细介绍

INFICON  PEG100潘宁真空计提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现单丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议，将真空计轻松集成到真空系统中。
PEG100潘宁真空计益处：

• 测量范围广，从 1 x 10^-9 至 1 x 10^-2 毫巴（7.5 x 10^-10 至 7.5 x 10^-3 托）

• 全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置

• 创新的电极几何形状提供***的点火属性

• 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中

• 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换

• ***小化真空计附近的磁场强度

• 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器

• 对数模拟输出信号

• 现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中LF-410A-EVD TEOS 1g/min 1.5g/min 3g/min 4g/min

PEG100潘宁真空计典型应用：

• 高真空压力监控

• 蒸发溅射系统

• 高真空范围内的一般真空测量和控制

PEG100潘宁真空计选型指南：

PEG100零件号说明351-000 351-002 351-003 351-004 351-005

真空计

PEG100-P 规管

PEG100D 型真空计

PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F

PEG100-P 规管

备件

PEG100零件号说明351-490

阴极片

HP . HP+ . HDP Robot 維修

FOR: AMAT 200 mm Centura . Endura . RTP . HTF . HDP . MXP . SUPER E . DPS . WCVD .

mks640A-14312/640A-29747流量压力计60/100psl现货供应

brooksinstrument VDM300维修与销售lam796-055344R007

MKS质量流量计1179A00423CR1BV气体Ar 2000sccm

LAM796-055344-005水蒸汽输送模块brooksinstrument VDM300

27-126062-00                                                                                       3310-01071   ？；                                                                                     1350-01027   ？；                                                                                               1350-01021   ？；                                                                                                60-10006-00 275821                                                                                             3310-01055 275185                                                                                         27-126029-00 629B-15894

美国CTI-Cryogenics 、CVI、Austin，德国Leybold、日本Anelva、住友重工 (SHI、APD 、Daikin)、 ULVAC、Suzuki等公司低温泵 冷凝泵。

提供GM及SV 冷凝泵 低温泵 的配件。

下面是出售的部分冷泵及配件（还有很多配件没有上传，欢迎来电咨询）：



ON BOARD 8F CRYOPUMP AMAT ENDURA 8116143G001


CTI-TOR8

Cryo-Torr Interface 8135903G001

Granville-Phillips Vacuum Guage Controller NR

15K High Capacity Array

CTI Maintenance Kits

Helium Line AMAT 3400-01109 CTI 8043086G240

TC Gauge 8112105

Cryo-Torr Interface 8135903G001

mks TYPE670真空计校准仪690传感器

722C01TCD2FJ电子真空计MKS真空压力计 1TORR 4VCR

brooksinstrument VDM300维修与销售lam796-055344R007

MKS  MFVC-29886  MKS  MFVC-34785 MKS  MFVC-32497  MKS  VODMB-26565  LAM 797-004456R005 MKS390100-YG 275071 392100-YE MKS-226A-29571 AMAT0190-50856  0190-51152  MKS649A12T51CAMR 1179A01922CR1AV-K MKS GE50A-30351

BROOKS AUTOMATION控制器维修978-262-2900（165463）

MKS SENTRY 1510流量计AERA EPV100-AW

TEL设备流量计维修ckd tpr4-35-A100T-X0002

cooling

EDwardsSTP-H1303C分子泵加SCU-800控制器现货

美国FIL-TECH 对流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/1

VAT APC Controller(PM7)796-098290-002

mks真空计356004-YG-THORIBA VALVE全新原件0190-36237流量计

MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 真空计AMAT气体流量计0190-51152

Granville-Phillips 隔膜规390628-0-YE-T   390B6636

MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N：390628–0-YE-T  390628-0-YE-T 390B6636

mks360/370

AMAT AE PARAMOUNTRF generator0190-441-5

GRANVILLE PHILLIPS 390 Series Micro-Ion gauge ATM Module:

PN:390628-0-YE-T,

PN:390506-3-YE-T,

P

深圳市天铉真空技术有限公司供应半导体过滤器 半导体配件mks真空计流量计 等进口控制器

供应CTI低温泵维修和销售详细介绍

CTI(Ulvac)低温泵和氦气压缩机维修、销售和技术咨询8200/9600

CTI(Ulvac)低温泵和氦气压缩机维修、销售和技术咨询。

OB8F:

OEM (CTI) Refurbished CTI Cryogenics Endura 8F Onboard Cryogenic Vacuum Pump.

. Utilized on AMAT Endura HP PVD Systems, OEM Refurbished to Like New Condition.

. Certificate of manufactures conformity attached.

. ConFlat Flange with Copper Gasket. In OEM Box

. CTI Part # 8116143G001   Serial # A06423485 AMAT Part # 0190-13371

8200: 8032559G001

美国CTI压缩机维修9600: 8135900G001

MKS354005-YD-T

Granville-PHillips真空计    275529-EU

1.型号：275529-EU

2 MKS390411-0-YE-T真空计GRANVILLE-PHILLIPS

3.非实价，议价！英福康真空计MKS354005-YD-T离子对撞压力计MKS

INFICON BAG302 B-A 型热阴极电离真空计(中高真空计)

INFICON 单台 Bayard-Alpert 热离子计 BAG302 的测量范围从 1.3 × 10-9 到 6.7×10-2 mbar（1 × 10-9 到 5 × 10-2 Torr）。紧凑型一体化热离子计BAG302提供易于更换的双灯丝传感器，内置OLED显示屏，设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成的RS485数字接口，可提高集成灵活性。这些功能与坚固的设计相结合，使BAG302成为一种经济实惠且可重复的过程，可作为自己的压力测量仪器的基础，并提供高价值/低拥有成本的选择。

INFICON 的 BAG302 热离子计是下面列出的 MKS/GP 部件号的直接直接替代品。 这还包括较旧的传统 MKS 354 微离子®模块。

MKS系列	部件号	显示	单位	输出	法兰型	灯丝	INFICON部件号
355 微离子®	355400-0-码	不	托	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355400-0-叶-T	不	托	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
355 微离子®	355400-0-YK-T	不	托	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355400-0-YF-T	不	托	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
355 微离子®	355400-0-YG-T	不	托	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
355 微离子®	355400-0-码	不	毫巴	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355400-0-叶-T	不	毫巴	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355400-0-YK-T	不	毫巴	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355400-0-YF-T	不	毫巴	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355400-0-YG-T	不	毫巴	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
355 微离子®	355400-0-码	不	帕斯卡	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355400-0-叶-T	不	帕斯卡	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
355 微离子®	355400-0-YK-T	不	帕斯卡	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355400-0-YF-T	不	帕斯卡	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
355 微离子®	355400-0-YG-T	不	帕斯卡	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
355 微离子®	355600-0-码	发光二极管	托	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355600-0-叶-T	发光二极管	托	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355600-0-YK-T	发光二极管	托	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355600-0-YF-T	发光二极管	托	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355600-0-YG-T	发光二极管	托	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
355 微离子®	355600-0-码	发光二极管	毫巴	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355600-0-叶-T	发光二极管	毫巴	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
355 微离子®	355600-0-YK-T	发光二极管	毫巴	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355600-0-YF-T	发光二极管	毫巴	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
355 微离子®	355600-0-YG-T	发光二极管	毫巴	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
355 微离子®	355600-0-码	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355600-0-叶-T	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
355 微离子®	355600-0-YK-T	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355600-0-YF-T	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
355 微离子®	355600-0-YG-T	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
355 微离子®	355410-0-码	不	托	RS485	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
355 微离子®	355410-0-叶-T	不	托	RS485	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
355 微离子®	355410-0-YK-T	不	托	RS485	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
355 微离子®	355410-0-YF-T	不	托	RS485	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
355 微离子®	355410-0-YG-T	不	托	RS485	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354001-YD-T （传统产品）	不	托	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354001-YE-T （传统产品）	不	托	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354001-YK-T （传统产品）	不	托	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354001-YF-T （传统产品）	不	托	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354001-YG-T （传统产品）	不	托	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354001-YD-M （传统产品）	不	毫巴	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354001-YE-M （传统产品）	不	毫巴	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354001-YK-M （传统产品）	不	毫巴	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354001-YF-M （传统产品）	不	毫巴	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354001-YG-M （传统产品）	不	毫巴	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354001-YD-P （传统产品）	不	帕斯卡	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354001-YE-P （传统产品）	不	帕斯卡	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354001-YK-P （传统产品）	不	帕斯卡	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354001-YF-P （传统产品）	不	帕斯卡	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354001-YG-P （传统产品）	不	帕斯卡	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354002-YD-T （传统产品）	发光二极管	托	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354002-YE-T （传统产品）	发光二极管	托	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354002-YK-T （传统产品）	发光二极管	托	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354002-YF-T （传统产品）	发光二极管	托	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354002-YG-T （传统产品）	发光二极管	托	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354002-YD-M （传统产品）	发光二极管	毫巴	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354002-YE-M （传统产品）	发光二极管	毫巴	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354002-YK-M （传统产品）	发光二极管	毫巴	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354002-YF-M （传统产品）	发光二极管	毫巴	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354002-YG-M （传统产品）	发光二极管	毫巴	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354002-YD-P （传统产品）	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354002-YE-P （传统产品）	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354002-YK-P （传统产品）	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354002-YF-P （传统产品）	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354002-YG-P （传统产品）	发光二极管	帕斯卡	模拟	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354005-YD-T （传统产品）	不	托	RS485	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354005-YE-T （传统产品）	不	托	RS485	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354005-YK-T （传统产品）	不	托	RS485	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354005-YF-T （传统产品）	不	托	RS485	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354005-YG-T （传统产品）	不	托	RS485	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354005-YD-M （传统产品）	不	毫巴	RS485	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354005-YE-M （传统产品）	不	毫巴	RS485	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354005-YK-M （传统产品）	不	毫巴	RS485	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354005-YF-M （传统产品）	不	毫巴	RS485	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354005-YG-M （传统产品）	不	毫巴	RS485	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054
354 微离子®	354005-YD-P （传统产品）	不	帕斯卡	RS485	DN 16 国际标准-KF	钌涂层铱	352-050
354 微离子®	354005-YE-P （传统产品）	不	帕斯卡	RS485	DN 25 国际标准-KF	钌涂层铱	352-051
354 微离子®	354005-YK-P （传统产品）	不	帕斯卡	RS485	DN 40 国际标准-KF	钌涂层铱	352-052
354 微离子®	354005-YF-P （传统产品）	不	帕斯卡	RS485	DN 16 CF-R	钌涂层铱	352-053
354 微离子®	354005-YG-P （传统产品）	不	帕斯卡	RS485	DN 40 CF-R	钌涂层铱	352-054

进口CWFG00403 光刻胶过滤器 WGGB06S02滤芯

ASML是 Advanced Semiconductor Material  Lithography的简称，中文名称为阿斯麦（中国大陆）、艾司摩尔（中国台湾）。艾司摩尔（ASML）为半导体设备供货商，成立于1984年，是从荷商飞利浦分割出来独立的半导体设备公司，总部设立于荷兰的Veldhoven。

  ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务，TWINSCAN系列，应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型，例如英特尔（Intel），三星（Samsung），海力士（Hynix），台积电（TSMC），中芯国际（SMIC）等。

  ASML的产品线分为PAS系列，AT系列，XT系列和NXT系列，其中PAS系列光源为高压汞灯光源，现已停产，AT系列属于老型号，多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列，为ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的机型，分为干式和沉浸式两种，而NXT系列则是现在主推的高端机型，全部为沉浸式。