LF400

          SERIES 

概要                                

LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。

可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。

产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通、高精度、高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。

特点                                

o 模拟式热质式流量计/流量控制器：

- 环境温度补正

- 可应用的流率范围广：

- 0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM

- 0～1、2、3、5、10、15、20、30SLM

o 高精度

±1%(≤15SLM)

±1.5%(＞15SLM.)

o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能

o 国际兼容

应用                                

o 工业设施的气体供应监测/控制。

o 气体分析设备。

o 固定气体流量控制。

o 气体混合或分离设备

标准                                气体质量流量用氮气(N2)标定。

标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa

输入输出                            

输入设定电压…………0～+5.00V

输出电压检测…………0～+5.00V

(高精度型)

型号                               

 流量范围是以mL/min，L/min 为单位

 例：

5mL/min 表示为005

500mL/min表示为500

 50 L/min(nor) 表示为50L

规格 (热式) :

 尺寸/定义图：