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Pfeiffer维修涡轮分子泵HiPaceR 80
来自：广州潽拓光电科技有限公司
1001人民币
发布时间：2022-6-10
关注次数：339
产品参数
商品详情
HiPace 80用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长， 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备，用于自主搭建真空腔体
Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵. 对所有气体的高抽速和极高压缩比，防护等级 IP 54, 符合工业环境要求，并且可应用于腐蚀性气体工艺
HiPace 80分子泵应用
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
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